基于后装配工艺的高灵敏度谐振式环形陀螺结构

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN202411039596.6
申请日
2024-07-31
公开(公告)号
CN118980365A
公开(公告)日
2024-11-19
发明(设计)人
周金秋 王鑫鹏 朱峰 范柚攸 黄齐白 张龙 熊开利
申请人
北京时代民芯科技有限公司 北京微电子技术研究所
申请人地址
100076 北京市丰台区东高地四营门北路2号科研楼
IPC主分类号
G01C19/5656
IPC分类号
G01C19/5663 B81B5/00
代理机构
北京市恒有知识产权代理事务所(普通合伙) 11576
代理人
郭文浩;尹文会
法律状态
实质审查的生效
国省代码
北京市 市辖区
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共 50 条
[1]
一种高灵敏度的MEMS环形振动陀螺谐振子结构 [P]. 
刘俊 ;
曹慧亮 ;
寇志伟 ;
石云波 ;
申冲 ;
唐军 ;
马宗敏 ;
刘文耀 .
中国专利 :CN106123884A ,2016-11-16
[2]
高灵敏度的光纤陀螺仪 [P]. 
周柯江 ;
申越 ;
张大茂 .
中国专利 :CN101694386A ,2010-04-14
[3]
高灵敏度MEMS谐振式加速度传感器 [P]. 
熊兴崟 ;
邹旭东 ;
汪政 ;
李志天 ;
杨伍昊 .
中国专利 :CN111721971B ,2020-09-29
[4]
基于慢光群速度的高灵敏度的谐振式光纤陀螺 [P]. 
掌蕴东 ;
田赫 ;
王楠 ;
袁萍 .
中国专利 :CN101126642A ,2008-02-20
[5]
一种兼顾高优值和高灵敏度的微机电碟形陀螺 [P]. 
周金秋 ;
范柚攸 ;
刘威 ;
王鑫鹏 ;
陈晨 ;
王红义 ;
朱红 ;
张龙 ;
熊开利 .
中国专利 :CN118980364A ,2024-11-19
[6]
基于光纤环形谐振腔的灵敏度可调干涉式光纤陀螺 [P]. 
田赫 ;
戚大伟 .
中国专利 :CN105466410B ,2016-04-06
[7]
基于e指数半导体器件的嵌入式高灵敏度微陀螺仪 [P]. 
刘俊 ;
唐军 ;
石云波 ;
郭浩 ;
赵锐 .
中国专利 :CN102506842A ,2012-06-20
[8]
基于高灵敏度光纤的检测 [P]. 
M.J.伯恩克兰特 ;
K.贝尔 ;
S.科雷思 ;
P.R.哈里斯 ;
A.M.温茨托尔 .
中国专利 :CN108072505B ,2018-05-25
[9]
具有高灵敏度的按键结构 [P]. 
蔡磊龙 ;
蔡温育 ;
刘家良 .
中国专利 :CN201185145Y ,2009-01-21
[10]
基于高灵敏度光纤的检测 [P]. 
M.J.伯恩克兰特 ;
S.科雷思 ;
K.贝尔 ;
P.R.哈里斯 ;
A.M.温茨托尔 ;
J.M.亚历山大 .
中国专利 :CN108072596A ,2018-05-25