一种高灵敏度的MEMS环形振动陀螺谐振子结构

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201610432646.6

申请日：

2016-06-17

公开(公告)号：

CN106123884A

公开(公告)日：

2016-11-16

发明(设计)人：

刘俊曹慧亮寇志伟石云波申冲唐军马宗敏刘文耀

申请人：

申请人地址：

030051 山西省太原市尖草坪区学院路3号

IPC主分类号：

G01C195684

IPC分类号：

代理机构：

太原科卫专利事务所(普通合伙) 14100

代理人：

朱源;王勇

法律状态：

发明专利申请公布后的驳回

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-01-10	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):G01C 19/5684 申请公布日:20161116
2016-12-14	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101691396155 IPC(主分类):G01C 19/5684 专利申请号:2016104326466 申请日:20160617
2016-11-16	公开	公开

共 50 条

[1]

一种全对称U形梁MEMS环形振动陀螺谐振子结构 [P].

刘俊 ;

曹慧亮 ;

寇志伟 ;

石云波 ;

连树仁 ;

冯恒振 ;

唐军 .

中国专利 :CN106289215B ,2017-01-04

[2]

基于后装配工艺的高灵敏度谐振式环形陀螺结构 [P].

周金秋 ;

王鑫鹏 ;

朱峰 ;

范柚攸 ;

黄齐白 ;

张龙 ;

熊开利 .

中国专利 :CN118980365A ,2024-11-19

[3]

一种环形陀螺谐振子结构及其制造方法 [P].

林日乐 ;

詹传康 ;

许图 ;

熊珠珠 ;

肖凌 .

中国专利 :CN118347481A ,2024-07-16

[4]

一种具有多功能电极的MEMS环形陀螺谐振子结构 [P].

林日乐 ;

詹传康 ;

熊珠珠 ;

许图 ;

肖凌 .

中国专利 :CN119085618A ,2024-12-06

[5]

一种抗高冲击S形弹性梁MEMS环形振动陀螺谐振子结构 [P].

刘俊 ;

寇志伟 ;

曹慧亮 ;

石云波 ;

连树仁 ;

冯恒振 ;

唐军 .

中国专利 :CN106289214A ,2017-01-04

[6]

一种高灵敏度的单轴MEMS陀螺仪 [P].

邹波 ;

郑青龙 ;

刘爽 .

中国专利 :CN110319822A ,2019-10-11

[7]

一种高灵敏度谐振式MEMS矢量水听器结构 [P].

王任鑫 ;

张国军 ;

薛晨阳 ;

张文栋 ;

刘俊 ;

熊继军 ;

简泽明 ;

刘梦然 ;

郭楠 ;

王续博 ;

曾瑞 .

中国专利 :CN104121984A ,2014-10-29

[8]

一种全对称折叠弹性梁硅微环形振动陀螺谐振子结构 [P].

刘俊 ;

寇志伟 ;

曹慧亮 ;

石云波 ;

黄堃 ;

唐军 ;

连树仁 ;

冯恒振 ;

康强 ;

任建军 .

中国专利 :CN106643686B ,2017-05-10

[9]

高灵敏度的光纤陀螺仪 [P].

周柯江 ;

申越 ;

张大茂 .

中国专利 :CN101694386A ,2010-04-14

[10]

一种自解耦高灵敏度谐振硅微机械陀螺 [P].

樊尚春 ;

王路达 ;

郭占社 .

中国专利 :CN101303234A ,2008-11-12

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