一种全对称U形梁MEMS环形振动陀螺谐振子结构

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201610918610.9

申请日：

2016-10-21

公开(公告)号：

CN106289215B

公开(公告)日：

2017-01-04

发明(设计)人：

刘俊曹慧亮寇志伟石云波连树仁冯恒振唐军

申请人：

申请人地址：

030051 山西省太原市尖草坪区学院路3号

IPC主分类号：

G01C195684

IPC分类号：

代理机构：

太原科卫专利事务所(普通合伙) 14100

代理人：

朱源;王勇

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-02-01	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101700835456 IPC(主分类):G01C 19/5684 专利申请号:2016109186109 申请日:20161021
2017-01-04	公开	公开
2019-03-05	授权	授权

共 50 条

[1]

一种全对称折叠弹性梁硅微环形振动陀螺谐振子结构 [P].

刘俊 ;

寇志伟 ;

曹慧亮 ;

石云波 ;

黄堃 ;

唐军 ;

连树仁 ;

冯恒振 ;

康强 ;

任建军 .

中国专利 :CN106643686B ,2017-05-10

[2]

一种抗高冲击S形弹性梁MEMS环形振动陀螺谐振子结构 [P].

刘俊 ;

寇志伟 ;

曹慧亮 ;

石云波 ;

连树仁 ;

冯恒振 ;

唐军 .

中国专利 :CN106289214A ,2017-01-04

[3]

一种高灵敏度的MEMS环形振动陀螺谐振子结构 [P].

刘俊 ;

曹慧亮 ;

寇志伟 ;

石云波 ;

申冲 ;

唐军 ;

马宗敏 ;

刘文耀 .

中国专利 :CN106123884A ,2016-11-16

[4]

一种全新的U形折叠梁硅微环形振动陀螺 [P].

刘俊 ;

寇志伟 ;

曹慧亮 ;

石云波 ;

黄堃 ;

唐军 ;

冯恒振 ;

连树仁 ;

任建军 ;

康强 .

中国专利 :CN106643685A ,2017-05-10

[5]

一种环形陀螺谐振子结构及其制造方法 [P].

林日乐 ;

詹传康 ;

许图 ;

熊珠珠 ;

肖凌 .

中国专利 :CN118347481A ,2024-07-16

[6]

一种具有多功能电极的MEMS环形陀螺谐振子结构 [P].

林日乐 ;

詹传康 ;

熊珠珠 ;

许图 ;

肖凌 .

中国专利 :CN119085618A ,2024-12-06

[7]

一种激光陀螺的谐振子结构 [P].

徐勇 .

中国专利 :CN110553638B ,2024-06-07

[8]

一种激光陀螺的谐振子结构 [P].

徐勇 .

中国专利 :CN110553638A ,2019-12-10

[9]

一种MEMS单环环形振动陀螺结构 [P].

李宏生 ;

刘学文 ;

钦铮承 .

中国专利 :CN110631569A ,2019-12-31

[10]

一种压电振动陀螺仪谐振子、其制作方法及压电振动陀螺 [P].

黄云 ;

肖鹏博 ;

曲天良 .

中国专利 :CN105973216A ,2016-09-28

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