一种MEMS单环环形振动陀螺结构

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201910966992.6

申请日：

2019-10-12

公开(公告)号：

CN110631569A

公开(公告)日：

2019-12-31

发明(设计)人：

李宏生刘学文钦铮承

申请人：

申请人地址：

211102 江苏省南京市江宁区东南大学路2号

IPC主分类号：

G01C1956

IPC分类号：

代理机构：

南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204

代理人：

柏尚春

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-01-24	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G01C 19/56 申请日:20191012
2019-12-31	公开	公开

共 50 条

[1]

一种可修调的MEMS环形振动陀螺及其制造方法 [P].

林日乐 ;

陈李 .

中国专利 :CN120926966A ,2025-11-11

[2]

一种全对称U形梁MEMS环形振动陀螺谐振子结构 [P].

刘俊 ;

曹慧亮 ;

寇志伟 ;

石云波 ;

连树仁 ;

冯恒振 ;

唐军 .

中国专利 :CN106289215B ,2017-01-04

[3]

一种高灵敏度的MEMS环形振动陀螺谐振子结构 [P].

刘俊 ;

曹慧亮 ;

寇志伟 ;

石云波 ;

申冲 ;

唐军 ;

马宗敏 ;

刘文耀 .

中国专利 :CN106123884A ,2016-11-16

[4]

一种大工艺容差的MEMS环形陀螺谐振子结构 [P].

林日乐 ;

詹传康 ;

许图 ;

熊珠珠 ;

肖凌 .

中国专利 :CN118347482A ,2024-07-16

[5]

一种抗高冲击S形弹性梁MEMS环形振动陀螺谐振子结构 [P].

刘俊 ;

寇志伟 ;

曹慧亮 ;

石云波 ;

连树仁 ;

冯恒振 ;

唐军 .

中国专利 :CN106289214A ,2017-01-04

[6]

一种MEMS反相振动陀螺仪及其制造工艺 [P].

于连忠 ;

孙晨 .

中国专利 :CN104215236B ,2014-12-17

[7]

一种MEMS陀螺的抗过载封装结构 [P].

陈磊 ;

戴志华 ;

俞静峰 ;

任延超 .

中国专利 :CN220300417U ,2024-01-05

[8]

一种外延硅补偿的环形振动陀螺及其制造方法 [P].

林日乐 ;

熊珠珠 ;

许图 ;

詹传康 ;

肖凌 .

中国专利 :CN118376263A ,2024-07-23

[9]

一种可抵消正交力的环形陀螺 [P].

周铭 ;

商兴莲 ;

解亚飞 ;

齐越 ;

凤瑞 .

中国专利 :CN118882621A ,2024-11-01

[10]

一种全对称折叠弹性梁硅微环形振动陀螺谐振子结构 [P].

刘俊 ;

寇志伟 ;

曹慧亮 ;

石云波 ;

黄堃 ;

唐军 ;

连树仁 ;

冯恒振 ;

康强 ;

任建军 .

中国专利 :CN106643686B ,2017-05-10

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