一种抛光垫的清洗装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201920265330.1

申请日：

2019-03-01

公开(公告)号：

CN209613638U

公开(公告)日：

2019-11-12

发明(设计)人：

张泽芳巩强

申请人：

申请人地址：

201802 上海市嘉定区南翔镇顺达路938号5楼506室

IPC主分类号：

B08B104

IPC分类号：

代理机构：

南京思拓知识产权代理事务所(普通合伙) 32288

代理人：

苗建

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-11-12	授权	授权
2020-04-07	专利权人的姓名或者名称、地址的变更	专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):B08B 1/04 变更事项:专利权人变更前:上海映智研磨材料有限公司变更后:上海映智研磨材料有限公司变更事项:地址变更前:201802 上海市嘉定区南翔镇顺达路938号5楼506室变更后:201799 上海市青浦区青安路958、968号4幢3层S区329室

共 50 条

[1]

抛光垫清洗装置 [P].

杨兆明 ;

颜凯 ;

中原司 .

中国专利 :CN211867467U ,2020-11-06

[2]

一种硅片抛光垫清洗装置 [P].

祝斌 ;

王彦君 ;

武卫 ;

刘建伟 ;

刘园 ;

刘姣龙 ;

裴坤羽 ;

孙晨光 ;

由佰玲 ;

谢艳 ;

杨春雪 ;

刘秒 ;

常雪岩 ;

吕莹 ;

徐荣清 .

中国专利 :CN211681596U ,2020-10-16

[3]

一种清洗抛光垫的装置 [P].

崔世勋 .

中国专利 :CN216883385U ,2022-07-05

[4]

抛光垫清洗装置和抛光垫清洗方法 [P].

何江博 .

中国专利 :CN117718888A ,2024-03-19

[5]

抛光垫清洗装置 [P].

杨兆明 ;

颜凯 ;

中原司 .

中国专利 :CN111070083A ,2020-04-28

[6]

一种抛光垫清洗装置及清洗方法、抛光设备 [P].

许涛 .

中国专利 :CN118218298A ,2024-06-21

[7]

一种抛光垫清洗装置及清洗方法 [P].

徐海洋 ;

吴兴 ;

赵坤 .

中国专利 :CN119407693A ,2025-02-11

[8]

抛光垫清洗装置和抛光设备 [P].

陈阳 .

中国专利 :CN117381669A ,2024-01-12

[9]

一种硅片抛光垫清洗装置及清洗方法 [P].

祝斌 ;

王彦君 ;

裴坤羽 ;

武卫 ;

刘建伟 ;

刘园 ;

孙晨光 ;

由佰玲 ;

谢艳 ;

杨春雪 ;

刘秒 ;

刘姣龙 ;

常雪岩 ;

吕莹 ;

徐荣清 .

中国专利 :CN110842783B ,2025-01-17

[10]

一种硅片抛光垫清洗装置及清洗方法 [P].

祝斌 ;

王彦君 ;

裴坤羽 ;

武卫 ;

刘建伟 ;

刘园 ;

孙晨光 ;

由佰玲 ;

谢艳 ;

杨春雪 ;

刘秒 ;

刘姣龙 ;

常雪岩 ;

吕莹 ;

徐荣清 .

中国专利 :CN110842783A ,2020-02-28

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