抛光垫清洗装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201922496223.2

申请日：

2019-12-31

公开(公告)号：

CN211867467U

公开(公告)日：

2020-11-06

发明(设计)人：

杨兆明颜凯中原司

申请人：

申请人地址：

314400 浙江省嘉兴市海宁市海宁大道8号海宁科技绿洲1号楼105室

IPC主分类号：

B24B3734

IPC分类号：

B24B5506

代理机构：

北京三友知识产权代理有限公司 11127

代理人：

韩嫚嫚;赵燕力

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-11-06	授权	授权

共 50 条

[1]

抛光垫清洗装置 [P].

杨兆明 ;

颜凯 ;

中原司 .

中国专利 :CN111070083A ,2020-04-28

[2]

抛光垫清洗装置和抛光垫清洗方法 [P].

何江博 .

中国专利 :CN117718888A ,2024-03-19

[3]

抛光垫清洗装置和抛光设备 [P].

陈阳 .

中国专利 :CN117381669A ,2024-01-12

[4]

一种抛光垫的清洗装置 [P].

张泽芳 ;

巩强 .

中国专利 :CN209613638U ,2019-11-12

[5]

一种硅片抛光垫清洗装置 [P].

祝斌 ;

王彦君 ;

武卫 ;

刘建伟 ;

刘园 ;

刘姣龙 ;

裴坤羽 ;

孙晨光 ;

由佰玲 ;

谢艳 ;

杨春雪 ;

刘秒 ;

常雪岩 ;

吕莹 ;

徐荣清 .

中国专利 :CN211681596U ,2020-10-16

[6]

抛光垫修整盘的清洗装置 [P].

祝志敏 ;

张震宇 .

中国专利 :CN104416462B ,2015-03-18

[7]

一种抛光垫清洗装置及清洗方法、抛光设备 [P].

许涛 .

中国专利 :CN118218298A ,2024-06-21

[8]

一种抛光垫清洗装置及清洗方法 [P].

徐海洋 ;

吴兴 ;

赵坤 .

中国专利 :CN119407693A ,2025-02-11

[9]

一种清洗抛光垫的装置 [P].

崔世勋 .

中国专利 :CN216883385U ,2022-07-05

[10]

抛光垫清洗方法及设备 [P].

周勤学 .

中国专利 :CN117359494A ,2024-01-09

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