一种基板清洗头及基板清洗装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201920764868.7

申请日：

2019-05-24

公开(公告)号：

CN210788335U

公开(公告)日：

2020-06-19

发明(设计)人：

李长坤蒋阳波赵德文刘远航路新春

申请人：

申请人地址：

100084 北京市海淀区清华园1号

IPC主分类号：

B08B302

IPC分类号：

B08B310 B08B504 B08B1300

代理机构：

北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250

代理人：

张建纲

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-06-19	授权	授权

共 50 条

[1]

一种基板清洗头及基板清洗装置 [P].

赵德文 ;

李长坤 ;

蒋阳波 ;

刘远航 ;

路新春 .

中国专利 :CN211160882U ,2020-08-04

[2]

一种基板清洗头及基板清洗装置 [P].

李长坤 ;

蒋阳波 ;

赵德文 ;

刘远航 ;

路新春 .

中国专利 :CN110153077B ,2024-10-25

[3]

一种基板清洗头及基板清洗装置 [P].

李长坤 ;

蒋阳波 ;

赵德文 ;

刘远航 ;

路新春 .

中国专利 :CN110153077A ,2019-08-23

[4]

一种基板清洗头及基板清洗装置 [P].

赵德文 ;

李长坤 ;

蒋阳波 ;

刘远航 ;

路新春 .

中国专利 :CN110153078A ,2019-08-23

[5]

一种基板清洗头及基板清洗装置 [P].

蒋阳波 ;

赵德文 ;

李长坤 ;

刘远航 ;

路新春 .

中国专利 :CN210788334U ,2020-06-19

[6]

一种基板清洗头及基板清洗装置 [P].

赵德文 ;

李长坤 ;

蒋阳波 ;

刘远航 ;

路新春 .

中国专利 :CN110153078B ,2024-10-01

[7]

一种基板清洗头及基板清洗装置 [P].

蒋阳波 ;

赵德文 ;

李长坤 ;

刘远航 ;

路新春 .

中国专利 :CN110153079A ,2019-08-23

[8]

一种基板清洗头及基板清洗装置 [P].

蒋阳波 ;

赵德文 ;

李长坤 ;

刘远航 ;

路新春 .

中国专利 :CN110153079B ,2024-09-17

[9]

基板清洗装置及基板清洗方法 [P].

圆山洋介 .

中国专利 :CN115083947A ,2022-09-20

[10]

基板清洗装置及基板清洗方法 [P].

樋口晃一 ;

林航之介 .

日本专利 :CN119673805A ,2025-03-21

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