一种晶体硅片的制绒设备及制绒工艺方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201310369031.X

申请日：

2013-08-22

公开(公告)号：

CN103441070B

公开(公告)日：

2013-12-11

发明(设计)人：

邓建华左国军

申请人：

申请人地址：

213125 江苏省常州市新北区机电工业园宝塔山路9号

IPC主分类号：

H01L21306

IPC分类号：

H01L3118

代理机构：

深圳市康弘知识产权代理有限公司 44247

代理人：

胡朝阳;孙洁敏

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2013-12-11	公开	公开
2015-12-09	授权	授权
2014-01-08	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101560722273 IPC(主分类):H01L 21/306 专利申请号:201310369031X 申请日:20130822

共 50 条

[1]

硅片制绒设备及制绒工艺 [P].

张逸凡 ;

王英杰 ;

任坚强 .

中国专利 :CN120511206A ,2025-08-19

[2]

硅片制绒工艺 [P].

邓舜 ;

马琦雯 .

中国专利 :CN113066903B ,2021-07-02

[3]

硅片制绒装置和硅片制绒设备 [P].

丁力 ;

张玉 ;

李明阳 ;

丁志强 ;

周兴宝 .

中国专利 :CN223639624U ,2025-12-05

[4]

硅片的制绒工艺 [P].

王登志 ;

王栩生 .

中国专利 :CN104201247A ,2014-12-10

[5]

一种晶体硅片的制绒方法及硅片 [P].

杨二存 ;

赵小平 ;

时宝 ;

逯承承 ;

庞瑞卿 ;

刘海泉 ;

陈刚 .

中国专利 :CN113299796B ,2021-08-24

[6]

一种硅片制绒装置以及制绒工艺 [P].

孙林 .

中国专利 :CN115020548A ,2022-09-06

[7]

一种多晶硅片制绒的制绒液及使用其制绒的方法 [P].

宁鲁豪 ;

王路路 ;

贾慧君 .

中国专利 :CN111092137A ,2020-05-01

[8]

多晶硅片的制绒辅助剂及制绒工艺 [P].

吴新正 ;

陈静 ;

胡彭年 ;

张愿成 ;

朱旭 ;

张军 ;

赵欣侃 .

中国专利 :CN104562011B ,2015-04-29

[9]

一种多晶硅片制绒液及制绒方法 [P].

刘桂林 ;

吴文娟 ;

朱海东 .

中国专利 :CN103668466A ,2014-03-26

[10]

一种晶体硅片的制绒方法 [P].

王红芳 ;

徐卓 ;

李锋 ;

潘明翠 ;

郎芳 ;

翟金叶 ;

孟庆超 ;

夏新中 ;

陈志军 ;

史金超 ;

于波 .

中国专利 :CN115602755A ,2023-01-13

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