一种硅片制绒装置以及制绒工艺

被引：0

申请号：

CN202210833593.4

申请日：

2022-07-14

公开(公告)号：

CN115020548A

公开(公告)日：

2022-09-06

发明(设计)人：

孙林

申请人：

申请人地址：

610400 四川省成都市金堂县淮口镇金乐路东段1号(金堂工业园区内)

IPC主分类号：

H01L3118

IPC分类号：

H01L310236 H01L2167 C30B3310 C30B2906

代理机构：

北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463

代理人：

吕露

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-09-06	公开	公开
2022-09-23	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 31/18 申请日:20220714

共 50 条

[1]

硅片制绒工艺 [P].

邓舜 ;

马琦雯 .

中国专利 :CN113066903B ,2021-07-02

[2]

硅片制绒设备及制绒工艺 [P].

张逸凡 ;

王英杰 ;

任坚强 .

中国专利 :CN120511206A ,2025-08-19

[3]

硅片制绒系统 [P].

武慧亮 ;

聂大小 .

中国专利 :CN209282227U ,2019-08-20

[4]

硅片制绒剂及其应用、硅片制绒的方法和绒面硅片 [P].

叶润 ;

胡恒广 ;

闫冬成 ;

杨懿 ;

闫俊龙 ;

马俊卿 ;

刘晓飞 ;

刘文渊 ;

张广涛 ;

刘泽文 .

中国专利 :CN119932711A ,2025-05-06

[5]

硅片制绒方法与硅片制绒装置 [P].

叶晓亚 ;

曹芳 ;

邹帅 ;

王栩生 ;

邢国强 .

中国专利 :CN112909121B ,2021-06-04

[6]

一种硅片表面制绒液及硅片表面制绒的方法 [P].

戈士勇 .

中国专利 :CN101717946A ,2010-06-02

[7]

硅片清洗制绒工艺 [P].

陈五奎 ;

刘强 ;

耿荣军 .

中国专利 :CN107968130B ,2018-04-27

[8]

硅片的制绒工艺 [P].

王登志 ;

王栩生 .

中国专利 :CN104201247A ,2014-12-10

[9]

一种硅片制绒方法 [P].

郑兰花 ;

李国民 ;

卢海江 ;

程四兴 .

中国专利 :CN103904157A ,2014-07-02

[10]

硅片制绒装置 [P].

叶晓亚 ;

曹芳 ;

邹帅 ;

王栩生 ;

邢国强 .

中国专利 :CN210897322U ,2020-06-30

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