一种硅片制绒方法

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN201310746508.1
申请日
2013-12-27
公开(公告)号
CN103904157A
公开(公告)日
2014-07-02
发明(设计)人
郑兰花 李国民 卢海江 程四兴
申请人
申请人地址
523871 广东省东莞市长安镇上沙振安路368号东阳光科技园
IPC主分类号
H01L3118
IPC分类号
C30B3310
代理机构
代理人
法律状态
公开
国省代码
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共 50 条
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