一种硅片制绒的清洗方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201310382295.9

申请日：

2013-08-28

公开(公告)号：

CN103426972A

公开(公告)日：

2013-12-04

发明(设计)人：

王涛郭永刚董鹏

申请人：

申请人地址：

710068 陕西省西安市航天基地东长安街589号

IPC主分类号：

H01L3118

IPC分类号：

H01L3310

代理机构：

上海硕力知识产权代理事务所 31251

代理人：

王建国

法律状态：

发明专利申请公布后的视为撤回

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2016-05-25	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101733007172 IPC(主分类):H01L 31/18 专利申请号:2013103822959 申请公布日:20131204
2013-12-04	公开	公开
2013-12-25	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101558126859 IPC(主分类):H01L 31/18 专利申请号:2013103822959 申请日:20130828

共 50 条

[1]

一种硅片制绒方法 [P].

郑兰花 ;

李国民 ;

卢海江 ;

程四兴 .

中国专利 :CN103904157A ,2014-07-02

[2]

一种用于硅片制绒清洗的装置 [P].

王健伟 ;

范慧斌 ;

蔡涔 .

中国专利 :CN208570642U ,2019-03-01

[3]

硅片制绒剂及其应用、硅片制绒的方法和绒面硅片 [P].

叶润 ;

胡恒广 ;

闫冬成 ;

杨懿 ;

闫俊龙 ;

马俊卿 ;

刘晓飞 ;

刘文渊 ;

张广涛 ;

刘泽文 .

中国专利 :CN119932711A ,2025-05-06

[4]

一种硅片制绒装置以及制绒工艺 [P].

孙林 .

中国专利 :CN115020548A ,2022-09-06

[5]

一种硅片表面制绒液及硅片表面制绒的方法 [P].

戈士勇 .

中国专利 :CN101717946A ,2010-06-02

[6]

硅片制绒系统 [P].

武慧亮 ;

聂大小 .

中国专利 :CN209282227U ,2019-08-20

[7]

一种单晶硅片的清洗及制绒方法 [P].

胥俊东 .

中国专利 :CN111105995B ,2020-05-05

[8]

一种晶体硅片的制绒方法及硅片 [P].

杨二存 ;

赵小平 ;

时宝 ;

逯承承 ;

庞瑞卿 ;

刘海泉 ;

陈刚 .

中国专利 :CN113299796B ,2021-08-24

[9]

一种太阳电池的硅片清洗制绒方法 [P].

彭铮 ;

李媛媛 ;

王巍 ;

杨磊 ;

李正平 ;

沈文忠 .

中国专利 :CN102938431B ,2013-02-20

[10]

类单晶硅片的制绒方法 [P].

童锐 ;

石东益 ;

王俊 ;

刘家益 .

中国专利 :CN102810594A ,2012-12-05

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