硅片制绒方法与硅片制绒装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201911225695.2

申请日：

2019-12-04

公开(公告)号：

CN112909121B

公开(公告)日：

2021-06-04

发明(设计)人：

叶晓亚曹芳邹帅王栩生邢国强

申请人：

申请人地址：

215000 江苏省苏州市高新区鹿山路199号

IPC主分类号：

H01L3118

IPC分类号：

H01L310236 H01L2167

代理机构：

苏州威世朋知识产权代理事务所(普通合伙) 32235

代理人：

胡彭年

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-07-15	授权	授权
2021-06-04	公开	公开
2021-06-22	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 31/18 申请日:20191204

共 50 条

[1]

硅片制绒装置 [P].

叶晓亚 ;

曹芳 ;

邹帅 ;

王栩生 ;

邢国强 .

中国专利 :CN210897322U ,2020-06-30

[2]

硅片制绒工艺 [P].

邓舜 ;

马琦雯 .

中国专利 :CN113066903B ,2021-07-02

[3]

硅片制绒系统 [P].

武慧亮 ;

聂大小 .

中国专利 :CN209282227U ,2019-08-20

[4]

硅片制绒产线 [P].

马琦雯 ;

邓舜 .

中国专利 :CN112909133A ,2021-06-04

[5]

硅片制绒专用承载装置 [P].

屈莹 ;

刘志刚 .

中国专利 :CN201788991U ,2011-04-06

[6]

单晶硅片制绒方法 [P].

龙维绪 ;

苏晓东 ;

黄洁 ;

查嘉伟 .

中国专利 :CN111509077B ,2020-08-07

[7]

硅片的制绒处理方法 [P].

白志民 .

中国专利 :CN102820370B ,2012-12-12

[8]

多晶硅片制绒方法 [P].

屈莹 .

中国专利 :CN101876088A ,2010-11-03

[9]

硅片制绒专用承载装置 [P].

屈莹 ;

刘志刚 .

中国专利 :CN101980375B ,2011-02-23

[10]

用于硅片金字塔制绒的酸性制绒液、制绒方法以及采用该制绒方法制绒而成的硅片 [P].

陈伟 ;

刘尧平 ;

杨丽霞 ;

梁会力 ;

梅增霞 ;

杜小龙 .

中国专利 :CN105405755A ,2016-03-16

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