用于硅片金字塔制绒的酸性制绒液、制绒方法以及采用该制绒方法制绒而成的硅片

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201510729576.6

申请日：

2015-10-30

公开(公告)号：

CN105405755A

公开(公告)日：

2016-03-16

发明(设计)人：

陈伟刘尧平杨丽霞梁会力梅增霞杜小龙

申请人：

申请人地址：

100190 北京市海淀区中关村南三街八号

IPC主分类号：

H01L21306

IPC分类号：

H01L3118 H01L310236

代理机构：

北京智汇东方知识产权代理事务所(普通合伙) 11391

代理人：

范晓斌;郭海彬

法律状态：

专利申请权、专利权的转移

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2016-11-16	专利申请权、专利权的转移	专利申请权的转移号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101741479195 IPC(主分类):H01L 21/306 专利申请号:2015107295766 登记生效日:20161024 变更事项:申请人变更前权利人:中国科学院物理研究所变更后权利人:深圳市石金科技股份有限公司变更事项:地址变更前权利人:100190 北京市海淀区中关村南三街八号变更后权利人:518105 广东省深圳市宝安区松岗街道塘下涌同富裕工业区安润路2号
2016-03-16	公开	公开
2016-04-13	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101655086055 IPC(主分类):H01L 21/306 专利申请号:2015107295766 申请日:20151030
2018-11-06	授权	授权

共 50 条

[1]

金字塔快速制绒液及其制绒方法和硅片制品 [P].

吴俊桃 ;

刘尧平 ;

陈伟 ;

赵燕 ;

陈全胜 ;

唐旱波 ;

王燕 ;

杜小龙 .

中国专利 :CN112442739B ,2021-03-05

[2]

硅片制绒方法与硅片制绒装置 [P].

叶晓亚 ;

曹芳 ;

邹帅 ;

王栩生 ;

邢国强 .

中国专利 :CN112909121B ,2021-06-04

[3]

一种硅片表面制绒液及硅片表面制绒的方法 [P].

戈士勇 .

中国专利 :CN101717946A ,2010-06-02

[4]

硅片制绒装置 [P].

叶晓亚 ;

曹芳 ;

邹帅 ;

王栩生 ;

邢国强 .

中国专利 :CN210897322U ,2020-06-30

[5]

硅片制绒工艺 [P].

邓舜 ;

马琦雯 .

中国专利 :CN113066903B ,2021-07-02

[6]

硅片制绒系统 [P].

武慧亮 ;

聂大小 .

中国专利 :CN209282227U ,2019-08-20

[7]

硅片的制绒处理方法 [P].

白志民 .

中国专利 :CN102820370B ,2012-12-12

[8]

一种硅片制绒装置以及制绒工艺 [P].

孙林 .

中国专利 :CN115020548A ,2022-09-06

[9]

一种多晶硅片制绒液及制绒方法 [P].

刘桂林 ;

吴文娟 ;

朱海东 .

中国专利 :CN103668466A ,2014-03-26

[10]

硅片的制绒酸洗的方法 [P].

郭延岭 .

中国专利 :CN102842652A ,2012-12-26

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