硅片的制绒处理方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201110152787.X

申请日：

2011-06-08

公开(公告)号：

CN102820370B

公开(公告)日：

2012-12-12

发明(设计)人：

白志民

申请人：

申请人地址：

100015 北京市朝阳区酒仙桥东路1号

IPC主分类号：

H01L3118

IPC分类号：

代理机构：

北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201

代理人：

宋合成

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2013-01-30	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101389921595 IPC(主分类):H01L 31/18 专利申请号:201110152787X 申请日:20110608
2017-10-17	专利权人的姓名或者名称、地址的变更	专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):H01L 31/18 变更事项:专利权人变更前:北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司变更后:北京北方华创微电子装备有限公司变更事项:地址变更前:100015 北京市朝阳区酒仙桥东路1号变更后:100015 北京市朝阳区酒仙桥东路1号
2017-11-03	专利权人的姓名或者名称、地址的变更	专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):H01L 31/18 变更事项:专利权人变更前:北京北方华创微电子装备有限公司变更后:北京北方华创微电子装备有限公司变更事项:地址变更前:100015 北京市朝阳区酒仙桥东路1号变更后:100176 北京市经济技术开发区文昌大道8号
2015-01-14	授权	授权
2012-12-12	公开	公开

共 50 条

[1]

硅片制绒方法与硅片制绒装置 [P].

叶晓亚 ;

曹芳 ;

邹帅 ;

王栩生 ;

邢国强 .

中国专利 :CN112909121B ,2021-06-04

[2]

油污晶体硅片的处理方法及制绒方法 [P].

刘娜 ;

何悦 ;

柳杉 ;

荣道兰 .

中国专利 :CN102653887A ,2012-09-05

[3]

硅片的制绒酸洗的方法 [P].

郭延岭 .

中国专利 :CN102842652A ,2012-12-26

[4]

用于硅片金字塔制绒的酸性制绒液、制绒方法以及采用该制绒方法制绒而成的硅片 [P].

陈伟 ;

刘尧平 ;

杨丽霞 ;

梁会力 ;

梅增霞 ;

杜小龙 .

中国专利 :CN105405755A ,2016-03-16

[5]

硅片制绒装置 [P].

叶晓亚 ;

曹芳 ;

邹帅 ;

王栩生 ;

邢国强 .

中国专利 :CN210897322U ,2020-06-30

[6]

硅片制绒工艺 [P].

邓舜 ;

马琦雯 .

中国专利 :CN113066903B ,2021-07-02

[7]

硅片制绒系统 [P].

武慧亮 ;

聂大小 .

中国专利 :CN209282227U ,2019-08-20

[8]

一种硅片表面制绒液及硅片表面制绒的方法 [P].

戈士勇 .

中国专利 :CN101717946A ,2010-06-02

[9]

一种金刚线切割多晶硅片的制绒预处理液、制绒预处理方法和制绒预处理硅片及其应用 [P].

章金兵 ;

付红平 ;

彭也庆 .

中国专利 :CN104576830A ,2015-04-29

[10]

太阳能硅片表面制绒处理方法 [P].

焦保贞 .

中国专利 :CN102214726A ,2011-10-12

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