油污晶体硅片的处理方法及制绒方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201110060228.6

申请日：

2011-03-04

公开(公告)号：

CN102653887A

公开(公告)日：

2012-09-05

发明(设计)人：

刘娜何悦柳杉荣道兰

申请人：

申请人地址：

214028 江苏省无锡市新区长江南路17-6

IPC主分类号：

C30B3302

IPC分类号：

C30B3308

代理机构：

中国专利代理(香港)有限公司 72001

代理人：

杜娟娟;高为

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2012-10-31	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101340110580 IPC(主分类):C30B 33/02 专利申请号:2011100602286 申请日:20110304
2015-06-17	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回号牌文件类型代码:1603 号牌文件序号:101716334508 IPC(主分类):C30B 33/02 专利申请号:2011100602286 申请公布日:20120905
2012-09-05	公开	公开

共 50 条

[1]

一种制绒辅助装置及晶体硅片处理方法 [P].

张俊兵 ;

蒋秀林 ;

吴兰峰 .

中国专利 :CN109994572A ,2019-07-09

[2]

一种制绒辅助装置及晶体硅片处理方法 [P].

张俊兵 ;

蒋秀林 ;

吴兰峰 .

中国专利 :CN109994572B ,2024-05-24

[3]

硅片的制绒处理方法 [P].

白志民 .

中国专利 :CN102820370B ,2012-12-12

[4]

一种晶体硅片的制绒方法 [P].

王红芳 ;

徐卓 ;

李锋 ;

潘明翠 ;

郎芳 ;

翟金叶 ;

孟庆超 ;

夏新中 ;

陈志军 ;

史金超 ;

于波 .

中国专利 :CN115602755A ,2023-01-13

[5]

一种晶体硅片的制绒方法及硅片 [P].

杨二存 ;

赵小平 ;

时宝 ;

逯承承 ;

庞瑞卿 ;

刘海泉 ;

陈刚 .

中国专利 :CN113299796B ,2021-08-24

[6]

一种晶体硅片的制绒设备及制绒工艺方法 [P].

邓建华 ;

左国军 .

中国专利 :CN103441070B ,2013-12-11

[7]

用于晶体硅片制绒的传输装置 [P].

赵卫东 ;

顾为 ;

赵枫 ;

赵雅 ;

杨冬琴 ;

徐进 ;

汤云鹤 ;

龚骏 .

中国专利 :CN203423154U ,2014-02-05

[8]

硅片制绒方法与硅片制绒装置 [P].

叶晓亚 ;

曹芳 ;

邹帅 ;

王栩生 ;

邢国强 .

中国专利 :CN112909121B ,2021-06-04

[9]

一种硅片表面制绒液及硅片表面制绒的方法 [P].

戈士勇 .

中国专利 :CN101717946A ,2010-06-02

[10]

硅片的制绒酸洗的方法 [P].

郭延岭 .

中国专利 :CN102842652A ,2012-12-26

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