硅片制绒装置

被引:0
专利类型
实用新型
申请号
CN201922145504.3
申请日
2019-12-04
公开(公告)号
CN210897322U
公开(公告)日
2020-06-30
发明(设计)人
叶晓亚 曹芳 邹帅 王栩生 邢国强
申请人
申请人地址
215000 江苏省苏州市高新区鹿山路199号
IPC主分类号
H01L3118
IPC分类号
H01L310236
代理机构
苏州威世朋知识产权代理事务所(普通合伙) 32235
代理人
胡彭年
法律状态
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
国省代码
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共 50 条
[1]
硅片制绒方法与硅片制绒装置 [P]. 
叶晓亚 ;
曹芳 ;
邹帅 ;
王栩生 ;
邢国强 .
中国专利 :CN112909121B ,2021-06-04
[2]
硅片制绒工艺 [P]. 
邓舜 ;
马琦雯 .
中国专利 :CN113066903B ,2021-07-02
[3]
硅片制绒系统 [P]. 
武慧亮 ;
聂大小 .
中国专利 :CN209282227U ,2019-08-20
[4]
硅片制绒专用承载装置 [P]. 
屈莹 ;
刘志刚 .
中国专利 :CN201788991U ,2011-04-06
[5]
硅片制绒专用承载装置 [P]. 
屈莹 ;
刘志刚 .
中国专利 :CN101980375B ,2011-02-23
[6]
一种硅片制绒装置以及制绒工艺 [P]. 
孙林 .
中国专利 :CN115020548A ,2022-09-06
[7]
硅片制绒产线 [P]. 
马琦雯 ;
邓舜 .
中国专利 :CN112909133A ,2021-06-04
[8]
用于硅片金字塔制绒的酸性制绒液、制绒方法以及采用该制绒方法制绒而成的硅片 [P]. 
陈伟 ;
刘尧平 ;
杨丽霞 ;
梁会力 ;
梅增霞 ;
杜小龙 .
中国专利 :CN105405755A ,2016-03-16
[9]
单晶硅片制绒方法 [P]. 
龙维绪 ;
苏晓东 ;
黄洁 ;
查嘉伟 .
中国专利 :CN111509077B ,2020-08-07
[10]
硅片的制绒处理方法 [P]. 
白志民 .
中国专利 :CN102820370B ,2012-12-12