硅片制绒产线

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202110324971.1

申请日：

2021-03-26

公开(公告)号：

CN112909133A

公开(公告)日：

2021-06-04

发明(设计)人：

马琦雯邓舜

申请人：

申请人地址：

213300 江苏省常州市溧阳市溧城镇吴潭渡路8号

IPC主分类号：

H01L3118

IPC分类号：

H01L310236

代理机构：

代理人：

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-06-04	公开	公开
2021-06-22	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 31/18 申请日:20210326

共 50 条

[1]

一种硅片制绒产线 [P].

马琦雯 ;

邓舜 .

中国专利 :CN214848660U ,2021-11-23

[2]

硅片制绒方法与硅片制绒装置 [P].

叶晓亚 ;

曹芳 ;

邹帅 ;

王栩生 ;

邢国强 .

中国专利 :CN112909121B ,2021-06-04

[3]

硅片制绒装置 [P].

叶晓亚 ;

曹芳 ;

邹帅 ;

王栩生 ;

邢国强 .

中国专利 :CN210897322U ,2020-06-30

[4]

硅片制绒工艺 [P].

邓舜 ;

马琦雯 .

中国专利 :CN113066903B ,2021-07-02

[5]

硅片制绒系统 [P].

武慧亮 ;

聂大小 .

中国专利 :CN209282227U ,2019-08-20

[6]

用于硅片金字塔制绒的酸性制绒液、制绒方法以及采用该制绒方法制绒而成的硅片 [P].

陈伟 ;

刘尧平 ;

杨丽霞 ;

梁会力 ;

梅增霞 ;

杜小龙 .

中国专利 :CN105405755A ,2016-03-16

[7]

单晶硅片制绒方法 [P].

龙维绪 ;

苏晓东 ;

黄洁 ;

查嘉伟 .

中国专利 :CN111509077B ,2020-08-07

[8]

硅片的制绒处理方法 [P].

白志民 .

中国专利 :CN102820370B ,2012-12-12

[9]

多晶硅片制绒方法 [P].

屈莹 .

中国专利 :CN101876088A ,2010-11-03

[10]

一种硅片表面制绒液及硅片表面制绒的方法 [P].

戈士勇 .

中国专利 :CN101717946A ,2010-06-02

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