可实现快速阻抗匹配的射频电源系统

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN201310629233.3
申请日
2013-11-29
公开(公告)号
CN103619117B
公开(公告)日
2014-03-05
发明(设计)人
李勇滔 孙小孟 李英杰 夏洋 王文东
申请人
申请人地址
100029 北京市朝阳区北土城西路3号
IPC主分类号
H05H146
IPC分类号
代理机构
北京华沛德权律师事务所 11302
代理人
刘杰
法律状态
公开
国省代码
引用
下载
收藏
共 50 条
[1]
射频自动阻抗匹配方法及射频自动阻抗匹配器 [P]. 
武晔 .
中国专利 :CN101489345B ,2009-07-22
[2]
实现射频阻抗匹配的方法及射频阻抗匹配系统 [P]. 
王焕钢 ;
徐文立 ;
李辉 ;
王宁 ;
申浩南 ;
武晔 .
中国专利 :CN101374381A ,2009-02-25
[3]
射频电源系统和利用射频电源系统进行阻抗匹配的方法 [P]. 
张璐 .
中国专利 :CN104349567A ,2015-02-11
[4]
阻抗匹配器及射频电源系统 [P]. 
王树晓 ;
林炯康 ;
陈亚梯 .
中国专利 :CN119315958A ,2025-01-14
[5]
阻抗匹配器及射频电源系统 [P]. 
王树晓 ;
林炯康 ;
陈亚梯 .
中国专利 :CN119254172A ,2025-01-03
[6]
阻抗匹配器、射频电源设备及射频电源系统 [P]. 
王树晓 ;
林炯康 ;
陈亚梯 .
中国专利 :CN120415357A ,2025-08-01
[7]
阻抗匹配器、射频电源设备以及射频电源系统 [P]. 
王树晓 ;
林炯康 ;
陈亚梯 .
中国专利 :CN118631207A ,2024-09-10
[8]
阻抗匹配器、射频电源设备以及射频电源系统 [P]. 
王树晓 ;
林炯康 ;
陈亚梯 .
中国专利 :CN118631207B ,2024-12-06
[9]
一种射频电源自动阻抗匹配装置 [P]. 
张凤娟 ;
张雪萍 ;
阮解琼 ;
薛坤 .
中国专利 :CN210247128U ,2020-04-03
[10]
阻抗匹配网络以及射频电源系统 [P]. 
王树晓 ;
林炯康 ;
陈亚梯 .
中国专利 :CN119420311A ,2025-02-11