射频电源系统和利用射频电源系统进行阻抗匹配的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201310322341.6

申请日：

2013-07-29

公开(公告)号：

CN104349567A

公开(公告)日：

2015-02-11

发明(设计)人：

张璐

申请人：

申请人地址：

100176 北京市北京经济技术开发区文昌大道8号

IPC主分类号：

H05H146

IPC分类号：

代理机构：

北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112

代理人：

彭瑞欣;张天舒

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-03-11	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101601515064 IPC(主分类):H05H 1/46 专利申请号:2013103223416 申请日:20130729
2015-02-11	公开	公开
2017-10-13	著录事项变更	著录事项变更号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101760689888 IPC(主分类):H05H 1/46 专利申请号:2013103223416 变更事项:申请人变更前:北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司变更后:北京北方华创微电子装备有限公司变更事项:地址变更前:100176 北京市北京经济技术开发区文昌大道8号变更后:100176 北京经济技术开发区文昌大道8号
2019-11-01	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):H05H 1/46 申请公布日:20150211

共 50 条

[1]

阻抗匹配器、射频电源设备及射频电源系统 [P].

王树晓 ;

林炯康 ;

陈亚梯 .

中国专利 :CN120415357A ,2025-08-01

[2]

阻抗匹配器、射频电源设备以及射频电源系统 [P].

王树晓 ;

林炯康 ;

陈亚梯 .

中国专利 :CN118631207A ,2024-09-10

[3]

阻抗匹配器、射频电源设备以及射频电源系统 [P].

王树晓 ;

林炯康 ;

陈亚梯 .

中国专利 :CN118631207B ,2024-12-06

[4]

阻抗匹配器及射频电源系统 [P].

王树晓 ;

林炯康 ;

陈亚梯 .

中国专利 :CN119254172A ,2025-01-03

[5]

阻抗匹配器及射频电源系统 [P].

王树晓 ;

林炯康 ;

陈亚梯 .

中国专利 :CN119315958A ,2025-01-14

[6]

可实现快速阻抗匹配的射频电源系统 [P].

李勇滔 ;

孙小孟 ;

李英杰 ;

夏洋 ;

王文东 .

中国专利 :CN103619117B ,2014-03-05

[7]

射频自动阻抗匹配方法及射频自动阻抗匹配器 [P].

武晔 .

中国专利 :CN101489345B ,2009-07-22

[8]

阻抗匹配网络以及射频电源系统 [P].

王树晓 ;

林炯康 ;

陈亚梯 .

中国专利 :CN119420311A ,2025-02-11

[9]

阻抗匹配网络以及射频电源系统 [P].

王树晓 ;

林炯康 ;

陈亚梯 .

中国专利 :CN119420310A ,2025-02-11

[10]

阻抗匹配器及匹配方法、射频电源系统和等离子体源系统 [P].

王能 ;

王传玉 ;

杨怀成 ;

刘泉志 ;

王一梅 .

中国专利 :CN120110347B ,2025-07-15

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