一种蚀刻机台气体输送互锁装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201920980834.1

申请日：

2019-06-26

公开(公告)号：

CN210040142U

公开(公告)日：

2020-02-07

发明(设计)人：

麦永业朱进刘家桦叶日铨薛荣华

申请人：

申请人地址：

223302 江苏省淮安市淮阴区长江东路599号

IPC主分类号：

H01L2167

IPC分类号：

代理机构：

上海智晟知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31313

代理人：

张东梅

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-02-07	授权	授权

共 50 条

[1]

一种蚀刻机台 [P].

顾叶锋 ;

惠倩 ;

俞李霞 .

中国专利 :CN215404531U ,2022-01-04

[2]

蚀刻机台装置 [P].

兰升友 ;

柘涛 ;

易熊军 ;

杨富可 ;

黄韬 .

中国专利 :CN212725232U ,2021-03-16

[3]

一种手机蚀刻机台 [P].

周瑞平 ;

陈森 ;

周爱东 .

中国专利 :CN220760350U ,2024-04-12

[4]

一种新型蚀刻机台 [P].

陈业平 ;

区佩金 .

中国专利 :CN205774910U ,2016-12-07

[5]

一种半导体清洗机台互锁装置 [P].

王红佳 ;

王红星 ;

王守国 ;

王天奇 .

中国专利 :CN220710264U ,2024-04-02

[6]

一种蚀刻机台用手动阀 [P].

史延锋 ;

赵洋 ;

史延库 ;

杨金海 .

中国专利 :CN208417710U ,2019-01-22

[7]

一种湿法蚀刻机台 [P].

温春兰 ;

吴海达 ;

蔡松智 .

中国专利 :CN210805715U ,2020-06-19

[8]

一种湿法蚀刻机台清洗装置 [P].

兰升友 ;

李瑶 ;

熊超超 ;

肖清凯 ;

杨富可 .

中国专利 :CN213752633U ,2021-07-20

[9]

一种气体输送装置 [P].

黄伟 .

中国专利 :CN205226893U ,2016-05-11

[10]

一种减少蓝宝石蚀刻机台蚀刻副产物掉落的装置 [P].

蓝文安 ;

张屿 ;

陆前军 ;

付星星 ;

康凯 .

中国专利 :CN206271658U ,2017-06-20

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