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一种湿法蚀刻机台清洗装置
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202022273776.4
申请日：
2020-10-13
公开(公告)号：
CN213752633U
公开(公告)日：
2021-07-20
发明(设计)人：
兰升友
李瑶
熊超超
肖清凯
杨富可
申请人：
申请人地址：
402760 重庆市璧山区璧泉街道钨山路69号（1号厂房）
IPC主分类号：
H01L2167
IPC分类号：
代理机构：
深圳鼎合诚知识产权代理有限公司 44281
代理人：
李发兵
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-07-20 | 授权 | 授权 |