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批次式湿法蚀刻清洗装置及批次式湿法蚀刻清洗方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201910241184.3
申请日：
2019-03-28
公开(公告)号：
CN110544649A
公开(公告)日：
2019-12-06
发明(设计)人：
蔡汉平
申请人：
申请人地址：
中国台湾新竹市北区南寮里4邻中清一路22之7号1楼
IPC主分类号：
H01L2167
IPC分类号：
代理机构：
上海翼胜专利商标事务所(普通合伙) 31218
代理人：
翟羽
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2019-12-06 | 公开 | 公开 |
| 2019-12-31 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/67 申请日:20190328 |