晶圆清洗结构及涂胶显影装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201821487824.6

申请日：

2018-09-11

公开(公告)号：

CN208674084U

公开(公告)日：

2019-03-29

发明(设计)人：

唐磊杨军颜廷彪叶日铨

申请人：

申请人地址：

223300 江苏省淮安市淮阴区长江东路599号

IPC主分类号：

H01L2167

IPC分类号：

H01L21683 H01L2166

代理机构：

上海盈盛知识产权代理事务所(普通合伙) 31294

代理人：

孙佳胤;陈丽丽

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-03-29	授权	授权

共 50 条

[1]

晶圆清洗装置 [P].

赵黎 ;

刘家桦 ;

卢思源 .

中国专利 :CN208127151U ,2018-11-20

[2]

晶圆显影设备及晶圆清洗方法 [P].

崔栽荣 ;

丁明正 ;

贺晓彬 ;

刘强 ;

王桂磊 ;

白国斌 .

中国专利 :CN114675511A ,2022-06-28

[3]

溶剂槽及涂胶显影装置 [P].

沈雪 ;

张荃雄 .

中国专利 :CN207752296U ,2018-08-21

[4]

晶圆冷却装置及涂胶显影设备 [P].

张海陆 ;

颜廷彪 .

中国专利 :CN210668283U ,2020-06-02

[5]

晶圆承载装置及涂胶显影设备 [P].

不公告发明人 .

中国专利 :CN209029353U ,2019-06-25

[6]

晶圆冷却装置及涂胶显影设备 [P].

张明 .

中国专利 :CN218447830U ,2023-02-03

[7]

晶圆清洗装置 [P].

张家永 ;

高英哲 ;

张文福 .

中国专利 :CN207752978U ,2018-08-21

[8]

晶圆承载装置、涂胶显影设备及涂胶显影方法 [P].

不公告发明人 .

中国专利 :CN110890308A ,2020-03-17

[9]

晶圆清洗装置及晶圆清洗方法 [P].

吴奇龙 .

中国专利 :CN112864043A ,2021-05-28

[10]

晶圆清洗装置及晶圆清洗方法 [P].

董鹏 .

中国专利 :CN113690127A ,2021-11-23

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