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晶圆冷却装置及涂胶显影设备
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN201920668583.3
申请日：
2019-05-10
公开(公告)号：
CN210668283U
公开(公告)日：
2020-06-02
发明(设计)人：
张海陆
颜廷彪
申请人：
申请人地址：
223300 江苏省淮安市淮阴区长江东路599号
IPC主分类号：
H01L2167
IPC分类号：
代理机构：
上海思捷知识产权代理有限公司 31295
代理人：
王宏婧
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2020-06-02 | 授权 | 授权 |