一种改进的磷化铟晶体合成和生长工艺及装置

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN202011278512.6
申请日
2020-11-16
公开(公告)号
CN112410883A
公开(公告)日
2021-02-26
发明(设计)人
高文飞
申请人
申请人地址
675000 云南省楚雄彝族自治州楚雄市鹿城镇阳光大道旁
IPC主分类号
C30B2940
IPC分类号
C30B1500 C01B2508
代理机构
南京经纬专利商标代理有限公司 32200
代理人
王美章
法律状态
实质审查的生效
国省代码
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共 50 条
[1]
一种磷化铟晶体的生长工艺 [P]. 
邵广育 ;
胡昌勇 ;
卜英瀚 .
中国专利 :CN117702274B ,2024-04-30
[2]
一种磷化铟晶体的生长工艺 [P]. 
邵广育 ;
胡昌勇 ;
卜英瀚 .
中国专利 :CN117702274A ,2024-03-15
[3]
一种熔融法制备磷化铟晶体的合成工艺 [P]. 
黄小华 ;
聂林涛 .
中国专利 :CN117431629A ,2024-01-23
[4]
一种磷化铟晶体的快速生长装置及生长方法 [P]. 
潘功寰 .
中国专利 :CN113668059A ,2021-11-19
[5]
一种用于生长磷化铟晶体的坩埚 [P]. 
卢鹏荐 ;
曾小龙 ;
张林 ;
赵平 ;
李鹏武 ;
袁珊珊 .
中国专利 :CN119411230A ,2025-02-11
[6]
一种磷化铟晶体生长设备 [P]. 
马争荣 ;
王建玲 .
中国专利 :CN213172683U ,2021-05-11
[7]
一种磷化铟晶体生长除杂装置 [P]. 
顾正伟 ;
晏善成 ;
陆小虎 ;
李存 .
中国专利 :CN120443350A ,2025-08-08
[8]
一种磷化铟晶体生长除杂装置 [P]. 
马争荣 ;
王建玲 .
中国专利 :CN213287900U ,2021-05-28
[9]
一种磷化铟多晶的合成装置和合成工艺 [P]. 
陈佳薇 ;
范钦明 ;
王新峰 ;
陈政委 ;
赵德刚 ;
乔印彬 ;
张宇峰 .
中国专利 :CN117626436A ,2024-03-01
[10]
一种输送磷化铟晶体的设备及检测工艺 [P]. 
潘功寰 ;
顾正伟 .
中国专利 :CN114029258B ,2022-02-11