一种熔融法制备磷化铟晶体的合成工艺

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN202311302367.4
申请日
2023-10-10
公开(公告)号
CN117431629A
公开(公告)日
2024-01-23
发明(设计)人
黄小华 聂林涛
申请人
陕西铟杰半导体有限公司
申请人地址
727031 陕西省铜川市新区新材料产业园区纬九路小微企业园7号楼
IPC主分类号
C30B28/04
IPC分类号
C30B29/40
代理机构
代理人
法律状态
实质审查的生效
国省代码
江苏省 南京市
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共 50 条
[1]
一种磷化铟多晶的合成装置和合成工艺 [P]. 
陈佳薇 ;
范钦明 ;
王新峰 ;
陈政委 ;
赵德刚 ;
乔印彬 ;
张宇峰 .
中国专利 :CN117626436A ,2024-03-01
[2]
一种磷化铟的合成方法 [P]. 
陈伟杰 ;
周铁军 ;
齐正阳 .
中国专利 :CN115537921A ,2022-12-30
[3]
一种磷化铟半导体材料的合成工艺 [P]. 
卜俊鹏 ;
邵广育 ;
卜英瀚 ;
胡昌勇 .
中国专利 :CN118639309B ,2025-02-14
[4]
一种磷化铟半导体材料的合成工艺 [P]. 
卜俊鹏 ;
邵广育 ;
卜英瀚 ;
胡昌勇 .
中国专利 :CN118639309A ,2024-09-13
[5]
一种磷化铟合成与VGF晶体制备的装置及方法 [P]. 
王书杰 ;
孙聂枫 ;
史艳磊 ;
刘峥 ;
邵会民 ;
党冀萍 ;
徐森锋 ;
姜剑 ;
李晓岚 ;
王阳 ;
张晓丹 ;
刘惠生 .
中国专利 :CN115198369B ,2024-06-11
[6]
一种改进的磷化铟晶体合成和生长工艺及装置 [P]. 
高文飞 .
中国专利 :CN112410883A ,2021-02-26
[7]
一种磷化铟研磨工艺与磷化铟 [P]. 
邢峥 ;
李海淼 .
中国专利 :CN114536208A ,2022-05-27
[8]
一种磷化铟晶体的生长工艺 [P]. 
邵广育 ;
胡昌勇 ;
卜英瀚 .
中国专利 :CN117702274A ,2024-03-15
[9]
一种磷化铟晶体的生长工艺 [P]. 
邵广育 ;
胡昌勇 ;
卜英瀚 .
中国专利 :CN117702274B ,2024-04-30
[10]
一种用于磷化铟晶体的制备装置 [P]. 
潘功寰 .
中国专利 :CN113699593A ,2021-11-26