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一种用于磷化铟晶体的制备装置
被引:0
专利类型
:
发明
申请号
:
CN202110787959.4
申请日
:
2021-07-13
公开(公告)号
:
CN113699593A
公开(公告)日
:
2021-11-26
发明(设计)人
:
潘功寰
申请人
:
申请人地址
:
215011 江苏省苏州市高新区珠江路900号5号楼101-1
IPC主分类号
:
C30B2940
IPC分类号
:
C30B2510
C30B2508
C30B2516
代理机构
:
佛山粤进知识产权代理事务所(普通合伙) 44463
代理人
:
耿鹏
法律状态
:
公开
国省代码
:
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法律状态
法律状态公告日
法律状态
法律状态信息
2021-11-26
公开
公开
2021-12-21
发明专利申请公布后的撤回
发明专利申请公布后的撤回 IPC(主分类):C30B 29/40 申请公布日:20211126
共 50 条
[1]
一种用于磷化铟晶体制备装置的退火机构
[P].
潘功寰
论文数:
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潘功寰
.
中国专利
:CN113638052A
,2021-11-12
[2]
一种用于生长磷化铟晶体的坩埚
[P].
卢鹏荐
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机构:
武汉拓材科技有限公司
武汉拓材科技有限公司
卢鹏荐
;
曾小龙
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机构:
武汉拓材科技有限公司
武汉拓材科技有限公司
曾小龙
;
张林
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机构:
武汉拓材科技有限公司
武汉拓材科技有限公司
张林
;
赵平
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机构:
武汉拓材科技有限公司
武汉拓材科技有限公司
赵平
;
李鹏武
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机构:
武汉拓材科技有限公司
武汉拓材科技有限公司
李鹏武
;
袁珊珊
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机构:
武汉拓材科技有限公司
武汉拓材科技有限公司
袁珊珊
.
中国专利
:CN119411230A
,2025-02-11
[3]
一种磷化铟晶体制备用退火装置
[P].
卢鹏荐
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机构:
武汉拓材科技有限公司
武汉拓材科技有限公司
卢鹏荐
;
曾小龙
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机构:
武汉拓材科技有限公司
武汉拓材科技有限公司
曾小龙
;
张林
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机构:
武汉拓材科技有限公司
武汉拓材科技有限公司
张林
;
袁珊珊
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机构:
武汉拓材科技有限公司
武汉拓材科技有限公司
袁珊珊
.
中国专利
:CN118727151A
,2024-10-01
[4]
一种半绝缘磷化铟的制备装置
[P].
王书杰
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王书杰
;
孙聂枫
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孙聂枫
;
徐森锋
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徐森锋
;
孙同年
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孙同年
;
刘惠生
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刘惠生
.
中国专利
:CN113308744B
,2021-08-27
[5]
一种磷化铟晶体制备退火设备
[P].
顾正伟
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机构:
中砥半导体技术(江苏)有限公司
中砥半导体技术(江苏)有限公司
顾正伟
;
晏善成
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机构:
中砥半导体技术(江苏)有限公司
中砥半导体技术(江苏)有限公司
晏善成
;
陆小虎
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机构:
中砥半导体技术(江苏)有限公司
中砥半导体技术(江苏)有限公司
陆小虎
;
刘鑫
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机构:
中砥半导体技术(江苏)有限公司
中砥半导体技术(江苏)有限公司
刘鑫
.
中国专利
:CN120666443A
,2025-09-19
[6]
一种利用铟磷混合物制备磷化铟晶体的方法
[P].
孙聂枫
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孙聂枫
;
王书杰
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王书杰
;
史艳磊
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史艳磊
;
邵会民
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邵会民
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付莉杰
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付莉杰
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李晓岚
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李晓岚
;
王阳
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王阳
;
徐森锋
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徐森锋
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刘惠生
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刘惠生
;
孙同年
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孙同年
.
中国专利
:CN110760932A
,2020-02-07
[7]
一种利用铟磷混合物制备磷化铟晶体的系统
[P].
孙聂枫
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孙聂枫
;
王书杰
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王书杰
;
史艳磊
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史艳磊
;
邵会民
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邵会民
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付莉杰
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付莉杰
;
李晓岚
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李晓岚
;
王阳
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王阳
;
徐森锋
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徐森锋
;
刘惠生
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刘惠生
;
孙同年
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孙同年
.
中国专利
:CN110760931A
,2020-02-07
[8]
一种利用铟磷混合物制备磷化铟晶体的系统
[P].
孙聂枫
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机构:
中国电子科技集团公司第十三研究所
中国电子科技集团公司第十三研究所
孙聂枫
;
卜爱民
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机构:
中国电子科技集团公司第十三研究所
中国电子科技集团公司第十三研究所
卜爱民
;
王书杰
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机构:
中国电子科技集团公司第十三研究所
中国电子科技集团公司第十三研究所
王书杰
;
史艳磊
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机构:
中国电子科技集团公司第十三研究所
中国电子科技集团公司第十三研究所
史艳磊
;
邵会民
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机构:
中国电子科技集团公司第十三研究所
中国电子科技集团公司第十三研究所
邵会民
;
付莉杰
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机构:
中国电子科技集团公司第十三研究所
中国电子科技集团公司第十三研究所
付莉杰
;
李晓岚
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中国电子科技集团公司第十三研究所
中国电子科技集团公司第十三研究所
李晓岚
;
王阳
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中国电子科技集团公司第十三研究所
中国电子科技集团公司第十三研究所
王阳
;
徐森锋
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中国电子科技集团公司第十三研究所
中国电子科技集团公司第十三研究所
徐森锋
;
欧欣
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中国电子科技集团公司第十三研究所
中国电子科技集团公司第十三研究所
欧欣
;
宋瑞良
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机构:
中国电子科技集团公司第十三研究所
中国电子科技集团公司第十三研究所
宋瑞良
;
刘惠生
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机构:
中国电子科技集团公司第十三研究所
中国电子科技集团公司第十三研究所
刘惠生
;
孙同年
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机构:
中国电子科技集团公司第十三研究所
中国电子科技集团公司第十三研究所
孙同年
.
中国专利
:CN110760931B
,2024-03-19
[9]
一种熔融法制备磷化铟晶体的合成工艺
[P].
黄小华
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机构:
陕西铟杰半导体有限公司
陕西铟杰半导体有限公司
黄小华
;
聂林涛
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机构:
陕西铟杰半导体有限公司
陕西铟杰半导体有限公司
聂林涛
.
中国专利
:CN117431629A
,2024-01-23
[10]
一种利用铟磷混合物制备磷化铟晶体的系统
[P].
孙聂枫
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孙聂枫
;
王书杰
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王书杰
;
史艳磊
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史艳磊
;
邵会民
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邵会民
;
付莉杰
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付莉杰
;
李晓岚
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李晓岚
;
王阳
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王阳
;
徐森锋
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徐森锋
;
刘惠生
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刘惠生
;
孙同年
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孙同年
.
中国专利
:CN211112317U
,2020-07-28
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