一种用于磷化铟晶体制备装置的退火机构

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202110787961.1

申请日：

2021-07-13

公开(公告)号：

CN113638052A

公开(公告)日：

2021-11-12

发明(设计)人：

潘功寰

申请人：

申请人地址：

215011 江苏省苏州市高新区珠江路900号5号楼101-1

IPC主分类号：

C30B3302

IPC分类号：

C30B2940 F16F1502

代理机构：

佛山粤进知识产权代理事务所(普通合伙) 44463

代理人：

耿鹏

法律状态：

发明专利申请公布后的撤回

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-01-07	发明专利申请公布后的撤回	发明专利申请公布后的撤回 IPC(主分类):C30B 33/02 申请公布日:20211112
2021-11-12	公开	公开

共 50 条

[1]

一种用于磷化铟晶体的制备装置 [P].

潘功寰 .

中国专利 :CN113699593A ,2021-11-26

[2]

一种磷化铟晶体制备退火设备 [P].

顾正伟 ;

晏善成 ;

陆小虎 ;

刘鑫 .

中国专利 :CN120666443A ,2025-09-19

[3]

一种磷化铟晶体制备用退火装置 [P].

卢鹏荐 ;

曾小龙 ;

张林 ;

袁珊珊 .

中国专利 :CN118727151A ,2024-10-01

[4]

一种用于生长磷化铟晶体的坩埚 [P].

卢鹏荐 ;

曾小龙 ;

张林 ;

赵平 ;

李鹏武 ;

袁珊珊 .

中国专利 :CN119411230A ,2025-02-11

[5]

一种磷化铟合成与VGF晶体制备的装置及方法 [P].

王书杰 ;

孙聂枫 ;

史艳磊 ;

刘峥 ;

邵会民 ;

党冀萍 ;

徐森锋 ;

姜剑 ;

李晓岚 ;

王阳 ;

张晓丹 ;

刘惠生 .

中国专利 :CN115198369B ,2024-06-11

[6]

一种半绝缘磷化铟的制备装置 [P].

王书杰 ;

孙聂枫 ;

徐森锋 ;

孙同年 ;

刘惠生 .

中国专利 :CN113308744B ,2021-08-27

[7]

一种磷化铟晶片退火装置 [P].

房现阁 ;

柯尊斌 ;

王卿伟 ;

郭友林 .

中国专利 :CN212648204U ,2021-03-02

[8]

一种用于磷化铟晶片的高压退火装置和退火方法 [P].

张锋 ;

王怀利 ;

谢月林 .

中国专利 :CN120425464A ,2025-08-05

[9]

一种用于磷化铟晶片的高压退火装置及退火方法 [P].

张锋 ;

王怀利 ;

谢月林 .

中国专利 :CN120425464B ,2025-09-09

[10]

一种利用铟磷混合物制备磷化铟晶体的方法 [P].

孙聂枫 ;

王书杰 ;

史艳磊 ;

邵会民 ;

付莉杰 ;

李晓岚 ;

王阳 ;

徐森锋 ;

刘惠生 ;

孙同年 .

中国专利 :CN110760932A ,2020-02-07

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