一种CMUTs流体密度传感器及其制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201810468138.2

申请日：

2018-05-16

公开(公告)号：

CN108918662B

公开(公告)日：

2018-11-30

发明(设计)人：

赵立波张家旺李支康李杰卢德江赵一鹤徐廷中蒋庄德

申请人：

申请人地址：

710049 陕西省西安市碑林区咸宁西路28号

IPC主分类号：

G01N29036

IPC分类号：

代理机构：

西安通大专利代理有限责任公司 61200

代理人：

徐文权

法律状态：

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国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-10-27	授权	授权
2018-11-30	公开	公开
2018-12-25	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G01N 29/036 申请日:20180516

共 50 条

[1]

一种梳齿式CMUTs流体密度传感器及其制备方法 [P].

赵立波 ;

李杰 ;

李支康 ;

卢德江 ;

赵一鹤 ;

张家旺 ;

徐廷中 ;

蒋庄德 .

中国专利 :CN108982291B ,2018-12-11

[2]

一种流体密度传感器 [P].

余强 ;

尤国平 ;

庞希顺 ;

孙洪义 .

中国专利 :CN101825549A ,2010-09-08

[3]

一种高精度流体密度测量传感器 [P].

范凯 ;

李海 .

中国专利 :CN201707277U ,2011-01-12

[4]

一种基于CMUT的生化传感器及其制备方法 [P].

赵立波 ;

李支康 ;

蒋庄德 ;

张桂铭 ;

黄恩泽 ;

郭鑫 ;

赵玉龙 .

中国专利 :CN102520032B ,2012-06-27

[5]

一种基于面内谐振的MEMS流体密度传感器芯片及其制备方法 [P].

赵立波 ;

胡英杰 ;

黄琳雅 ;

李支康 ;

赵玉龙 ;

蒋庄德 .

中国专利 :CN107271326A ,2017-10-20

[6]

一种双U型振动管式流体密度传感器 [P].

薛道荣 ;

谭显忠 ;

路大贺 ;

王瑞华 .

中国专利 :CN103424336A ,2013-12-04

[7]

一种双U型振动管式流体密度传感器 [P].

薛道荣 ;

谭显忠 ;

路大贺 ;

王瑞华 .

中国专利 :CN203396669U ,2014-01-15

[8]

一种测量矿浆流体密度传感器的自动清洗装置 [P].

张伟 .

中国专利 :CN102641864A ,2012-08-22

[9]

一种测量矿浆流体密度传感器的自动清洗装置 [P].

张伟 .

中国专利 :CN202539112U ,2012-11-21

[10]

一种基于U型振荡管的流体密度传感器及其测量方法 [P].

陈亮 ;

王建萍 ;

凌智永 ;

余冬梅 ;

霍世璐 .

中国专利 :CN114002109A ,2022-02-01

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