一种基于面内谐振的MEMS流体密度传感器芯片及其制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201710539077.X

申请日：

2017-07-04

公开(公告)号：

CN107271326A

公开(公告)日：

2017-10-20

发明(设计)人：

赵立波胡英杰黄琳雅李支康赵玉龙蒋庄德

申请人：

申请人地址：

710049 陕西省西安市碑林区咸宁西路28号

IPC主分类号：

G01N924

IPC分类号：

B81B702

代理机构：

西安通大专利代理有限责任公司 61200

代理人：

陆万寿

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-10-11	授权	授权
2017-10-20	公开	公开
2017-11-17	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G01N 9/24 申请日:20170704

共 50 条

[1]

一种基于面内谐振的MEMS流体黏度传感器芯片及其制备方法 [P].

赵立波 ;

黄琳雅 ;

胡英杰 ;

李支康 ;

赵玉龙 ;

蒋庄德 .

中国专利 :CN107271332B ,2017-10-20

[2]

一种基于面内谐振的MEMS黏密度传感器芯片及其制备方法 [P].

赵立波 ;

黄琳雅 ;

蒋维乐 ;

胡英杰 ;

王久洪 ;

李支康 ;

苑国英 ;

赵玉龙 ;

蒋庄德 .

中国专利 :CN107601424A ,2018-01-19

[3]

一种CMUTs流体密度传感器及其制备方法 [P].

赵立波 ;

张家旺 ;

李支康 ;

李杰 ;

卢德江 ;

赵一鹤 ;

徐廷中 ;

蒋庄德 .

中国专利 :CN108918662B ,2018-11-30

[4]

一种流体密度传感器 [P].

余强 ;

尤国平 ;

庞希顺 ;

孙洪义 .

中国专利 :CN101825549A ,2010-09-08

[5]

具有双惠斯通全桥结构的MEMS流体密度传感器芯片及制备方法 [P].

赵立波 ;

黄恩泽 ;

张桂铭 ;

蒋庄德 ;

王晓坡 ;

刘志刚 .

中国专利 :CN102353609A ,2012-02-15

[6]

基于MEMS技术的同时测量流体密度、压力和温度的集成流体传感器 [P].

赵立波 ;

黄恩泽 ;

张桂铭 ;

赵玉龙 ;

蒋庄德 ;

苑国英 ;

王晓坡 ;

刘志刚 .

中国专利 :CN102288516A ,2011-12-21

[7]

一种梳齿式CMUTs流体密度传感器及其制备方法 [P].

赵立波 ;

李杰 ;

李支康 ;

卢德江 ;

赵一鹤 ;

张家旺 ;

徐廷中 ;

蒋庄德 .

中国专利 :CN108982291B ,2018-12-11

[8]

一种MEMS传感器芯片结构及MEMS谐振传感器芯片 [P].

郝齐星 ;

卢狄克 ;

孙宏霖 ;

赵成圆 ;

吴钢强 ;

陈星宇 .

中国专利 :CN120841431A ,2025-10-28

[9]

一种流体多参数测量的MEMS谐振式传感器芯片及其工作方法 [P].

黄琳雅 ;

牛刚 ;

任巍 ;

赵立波 ;

蒋庄德 .

中国专利 :CN119197597A ,2024-12-27

[10]

一种高精度流体密度测量传感器 [P].

范凯 ;

李海 .

中国专利 :CN201707277U ,2011-01-12

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