基于MEMS技术的同时测量流体密度、压力和温度的集成流体传感器

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201110180191.0

申请日：

2011-06-29

公开(公告)号：

CN102288516A

公开(公告)日：

2011-12-21

发明(设计)人：

赵立波黄恩泽张桂铭赵玉龙蒋庄德苑国英王晓坡刘志刚

申请人：

申请人地址：

710049 陕西省西安市咸宁西路28号

IPC主分类号：

G01N900

IPC分类号：

G01L904 G01K725

代理机构：

西安通大专利代理有限责任公司 61200

代理人：

徐文权

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2012-02-08	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101180927347 IPC(主分类):G01N 9/00 专利申请号:2011101801910 申请日:20110629
2011-12-21	公开	公开
2016-08-17	专利权的终止	未缴年费专利权终止号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101675753966 IPC(主分类):G01N 9/00 专利号:ZL2011101801910 申请日:20110629 授权公告日:20130313 终止日期:20150629
2013-03-13	授权	授权

共 50 条

[1]

用于测量流体的压力和温度的传感器布置 [P].

穆罕默德·本斯利曼 .

:CN114270158B ,2024-03-08

[2]

用于测量流体的压力和温度的传感器布置 [P].

穆罕默德·本斯利曼 .

中国专利 :CN114270158A ,2022-04-01

[3]

流体密度的测量装置 [P].

刁海丰 ;

钟强 ;

孙利佳 ;

赵豪 .

中国专利 :CN205643073U ,2016-10-12

[4]

管内流体压力和温度同时测量的光纤光栅传感器 [P].

周祖德 ;

黄俊 ;

陈俊涛 ;

谭跃刚 .

中国专利 :CN204679181U ,2015-09-30

[5]

测量流体压力的压力传感器 [P].

特雷斯·J·特罗耶 .

中国专利 :CN101241031B ,2008-08-13

[6]

用于测量流体压力的压力传感器和用于制造用于测量流体压力的压力传感器的方法 [P].

B·潘赫茨尔 ;

D·埃特尔 .

中国专利 :CN111194402A ,2020-05-22

[7]

一种流体密度传感器 [P].

余强 ;

尤国平 ;

庞希顺 ;

孙洪义 .

中国专利 :CN101825549A ,2010-09-08

[8]

基于MEMS技术的压力传感器 [P].

宋雅伟 ;

周兴 ;

林恒华 .

中国专利 :CN204924511U ,2015-12-30

[9]

一种高精度流体密度测量传感器 [P].

范凯 ;

李海 .

中国专利 :CN201707277U ,2011-01-12

[10]

一种基于面内谐振的MEMS流体密度传感器芯片及其制备方法 [P].

赵立波 ;

胡英杰 ;

黄琳雅 ;

李支康 ;

赵玉龙 ;

蒋庄德 .

中国专利 :CN107271326A ,2017-10-20

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