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用于改进抗蚀剂模型预测的系统和方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201980014234.2
申请日：
2019-02-19
公开(公告)号：
CN111742264A
公开(公告)日：
2020-10-02
发明(设计)人：
M·库伊曼
申请人：
申请人地址：
荷兰维德霍温
IPC主分类号：
G03F720
IPC分类号：
代理机构：
中科专利商标代理有限责任公司 11021
代理人：
张启程
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2020-10-30 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/20 申请日:20190219 |
| 2020-10-02 | 公开 | 公开 |