用于精确光致抗蚀剂轮廓预测的模型

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201580013649.X

申请日：

2015-03-16

公开(公告)号：

CN106104752B

公开(公告)日：

2016-11-09

发明(设计)人：

M·D·史密斯 J·J·比亚福尔

申请人：

申请人地址：

美国加利福尼亚州

IPC主分类号：

H01L21027

IPC分类号：

代理机构：

北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287

代理人：

张世俊

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-03-22	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101708963074 IPC(主分类):H01L 21/027 专利申请号:201580013649X 申请日:20150316
2019-08-20	授权	授权
2016-11-09	公开	公开

共 50 条

[1]

光致抗蚀剂下层和形成光致抗蚀剂图案的方法 [P].

訾安仁 ;

林进祥 ;

张庆裕 .

中国专利 :CN113176708A ,2021-07-27

[2]

光致抗蚀剂剥离剂及光致抗蚀剂剥离方法 [P].

邓强 .

中国专利 :CN109254507A ,2019-01-22

[3]

光致抗蚀剂组合物 [P].

M·派德马纳班 ;

S·查克拉帕尼 .

中国专利 :CN101606102A ,2009-12-16

[4]

化学增幅型光致抗蚀剂组合物、光致抗蚀剂图案和用于制备光致抗蚀剂图案的方法 [P].

林敏映 ;

金智慧 ;

金容美 .

中国专利 :CN110325915B ,2019-10-11

[5]

改善光致抗蚀剂图案轮廓的方法 [P].

黄义雄 ;

陈桂顺 ;

王见明 .

中国专利 :CN1141732C ,2002-05-15

[6]

改进的光致抗蚀剂 [P].

R·K·巴尔 ;

E·安泽里斯 ;

D·E·伦迪 .

中国专利 :CN1514302A ,2004-07-21

[7]

光致抗蚀剂图案修整组合物和修整光致抗蚀剂图案的方法 [P].

I·考尔 ;

刘聪 ;

K·罗威尔 .

中国专利 :CN114488694A ,2022-05-13

[8]

光致抗蚀剂面漆组合物和加工光致抗蚀剂组合物的方法 [P].

刘骢 ;

D·H·康 ;

D·王 ;

C-B·徐 ;

M·李 ;

I·考尔 .

中国专利 :CN106154748A ,2016-11-23

[9]

光致抗蚀剂面漆组合物和加工光致抗蚀剂组合物的方法 [P].

刘骢 ;

D·H·康 ;

D·王 ;

C-B·徐 ;

李明琦 ;

I·考尔 .

中国专利 :CN108020987A ,2018-05-11

[10]

光致抗蚀剂组合物和形成光致抗蚀剂图案的方法 [P].

杨立柏 ;

张庆裕 .

中国专利 :CN113238457A ,2021-08-10

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