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隧穿场效应晶体管及其制备方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201680087573.X
申请日：
2016-07-19
公开(公告)号：
CN109417095A
公开(公告)日：
2019-03-01
发明(设计)人：
徐慧龙
李伟
张臣雄
申请人：
申请人地址：
518129 广东省深圳市龙岗区坂田华为总部办公楼
IPC主分类号：
H01L2978
IPC分类号：
H01L21336
代理机构：
北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205
代理人：
张娜;刘芳
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2019-03-01 | 公开 | 公开 |
| 2019-03-26 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 29/78 申请日:20160719 |
| 2021-10-15 | 授权 | 授权 |