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隧穿场效应晶体管及其制备方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201580084538.8
申请日：
2015-11-11
公开(公告)号：
CN108352401A
公开(公告)日：
2018-07-31
发明(设计)人：
杨喜超
张臣雄
申请人：
申请人地址：
518129 广东省深圳市龙岗区坂田华为总部办公楼
IPC主分类号：
H01L29772
IPC分类号：
H01L21335
代理机构：
代理人：
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2018-08-24 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 29/772 申请日:20151111 |
| 2020-12-22 | 发明专利申请公布后的视为撤回 | 发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):H01L 29/772 申请公布日:20180731 |
| 2018-07-31 | 公开 | 公开 |