一种电镀机台退火腔体气体管路

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201210048766.8

申请日：

2012-02-28

公开(公告)号：

CN102534713A

公开(公告)日：

2012-07-04

发明(设计)人：

苏亚青文静

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张江高科技园区高斯路497号

IPC主分类号：

C25D550

IPC分类号：

F27D700 C21D174 C21D126 C21D900

代理机构：

上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237

代理人：

陆花

法律状态：

发明专利申请公布后的视为撤回

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-08-12	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回号牌文件类型代码:1603 号牌文件序号:101719381988 IPC(主分类):C25D 5/50 专利申请号:2012100487668 申请公布日:20120704
2012-09-05	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101322510768 IPC(主分类):C25D 5/50 专利申请号:2012100487668 申请日:20120228
2012-07-04	公开	公开

共 50 条

[1]

一种电镀机台腔体结构及电镀机台 [P].

秦杰 ;

王金岗 ;

薛超 ;

林宗贤 .

中国专利 :CN210012914U ,2020-02-04

[2]

一种铜电镀机台腔体 [P].

李雪亮 ;

苏亚青 .

中国专利 :CN206188900U ,2017-05-24

[3]

一种应用于铜电镀机台中的退火腔体 [P].

任存生 ;

张旭升 ;

张传民 ;

文静 .

中国专利 :CN103173823B ,2013-06-26

[4]

一种连续电镀机台 [P].

张文标 .

中国专利 :CN205223397U ,2016-05-11

[5]

一种用于铜电镀机台的缓冲装置及铜电镀机台 [P].

王赫 .

中国专利 :CN112708926A ,2021-04-27

[6]

一种气体管路的辅助加湿装置 [P].

刘忠亮 ;

杨仕清 ;

张尚彬 .

中国专利 :CN203798798U ,2014-08-27

[7]

用于与高密度等离子机台的工艺腔体连接的气体管路装置 [P].

张炳一 ;

张晓平 .

中国专利 :CN100494764C ,2008-01-30

[8]

一种气体管路 [P].

候力波 ;

乔素雷 .

中国专利 :CN213117779U ,2021-05-04

[9]

一种气体管路 [P].

赵旭良 ;

季文明 ;

刘源 ;

金嵩 .

中国专利 :CN205850287U ,2017-01-04

[10]

一种电镀液储液装置及电镀机台 [P].

张云峰 ;

石轶 .

中国专利 :CN209722350U ,2019-12-03

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