一种应用于铜电镀机台中的退火腔体

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN201310122180.6
申请日
2013-04-09
公开(公告)号
CN103173823B
公开(公告)日
2013-06-26
发明(设计)人
任存生 张旭升 张传民 文静
申请人
申请人地址
201203 上海市浦东新区张江高科技园区高斯路497号
IPC主分类号
C25D550
IPC分类号
C25D712
代理机构
上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237
代理人
陆花
法律状态
实质审查的生效
国省代码
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共 50 条
[1]
一种铜电镀机台腔体 [P]. 
李雪亮 ;
苏亚青 .
中国专利 :CN206188900U ,2017-05-24
[2]
一种电镀机台退火腔体气体管路 [P]. 
苏亚青 ;
文静 .
中国专利 :CN102534713A ,2012-07-04
[3]
一种用于铜电镀机台的缓冲装置及铜电镀机台 [P]. 
王赫 .
中国专利 :CN112708926A ,2021-04-27
[4]
一种电镀机台腔体结构及电镀机台 [P]. 
秦杰 ;
王金岗 ;
薛超 ;
林宗贤 .
中国专利 :CN210012914U ,2020-02-04
[5]
一种应用于电镀件的烘干装置 [P]. 
张旭 ;
王虎 ;
王可 ;
贾俊峰 .
中国专利 :CN211400608U ,2020-09-01
[6]
一种应用于电镀机的可拆卸式电镀模组 [P]. 
王兴平 ;
张代琼 ;
朱中正 .
中国专利 :CN203855678U ,2014-10-01
[7]
一种连续电镀机台 [P]. 
张文标 .
中国专利 :CN205223397U ,2016-05-11
[8]
一种阳极板结构及铜电镀机台 [P]. 
苏亚青 ;
李雪亮 ;
文静 ;
张传民 .
中国专利 :CN207159408U ,2018-03-30
[9]
一种电镀液储液装置及电镀机台 [P]. 
张云峰 ;
石轶 .
中国专利 :CN209722350U ,2019-12-03
[10]
应用于围棋成型机的拼接式退火装置 [P]. 
李达 ;
何华封 ;
刘廷举 ;
黎涛 ;
赵金荣 ;
查国美 ;
孙娅莉 ;
李莉金 .
中国专利 :CN212757181U ,2021-03-23