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半导体表面金属杂质的去除方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201510827442.8
申请日：
2015-11-24
公开(公告)号：
CN106783587B
公开(公告)日：
2017-05-31
发明(设计)人：
龙命潮
申请人：
申请人地址：
523087 广东省东莞市南城区宏远工业区
IPC主分类号：
H01L213213
IPC分类号：
代理机构：
广州三环专利商标代理有限公司 44202
代理人：
郝传鑫
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2017-05-31 | 公开 | 公开 |
| 2018-10-09 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/3213 申请日:20151124 |
| 2020-07-17 | 授权 | 授权 |