光阻管路及光阻涂布设备

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201610885970.3

申请日：

2016-10-10

公开(公告)号：

CN106252263A

公开(公告)日：

2016-12-21

发明(设计)人：

凌意明周孟兴韩玉龙王琦

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张江高科技园区祖冲之路1399号

IPC主分类号：

H01L2167

IPC分类号：

H01L21027

代理机构：

上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237

代理人：

屈蘅

法律状态：

发明专利申请公布后的驳回

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-01-10	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):H01L 21/67 申请公布日:20161221
2016-12-21	公开	公开
2017-01-25	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101699565604 IPC(主分类):H01L 21/67 专利申请号:2016108859703 申请日:20161010

共 50 条

[1]

光阻涂布设备及光阻涂布方法 [P].

王松 ;

林佳龙 .

中国专利 :CN104511388A ,2015-04-15

[2]

光阻涂布设备 [P].

朱浩东 .

中国专利 :CN108873609A ,2018-11-23

[3]

光阻涂布设备及其光阻涂布方法 [P].

蔡金龙 ;

郑宪鸿 .

中国专利 :CN103274605B ,2013-09-04

[4]

光阻涂布方法及其光阻涂布设备 [P].

苏育煌 ;

陈世仁 ;

周振南 .

中国专利 :CN1885164B ,2006-12-27

[5]

光阻涂布设备及涂布方法 [P].

龚成波 .

中国专利 :CN107490938A ,2017-12-19

[6]

光阻输送管、光阻输送系统及光阻涂布设备 [P].

单剑锋 .

中国专利 :CN208991163U ,2019-06-18

[7]

光阻涂布设备及涂布设备用喷嘴 [P].

但清华 .

中国专利 :CN106076744A ,2016-11-09

[8]

光阻实时检测装置、光阻实时检测方法及光阻涂布设备 [P].

张瑞军 ;

莫超德 ;

范志翔 ;

刘文波 ;

孟小龙 ;

王松 .

中国专利 :CN108170004A ,2018-06-15

[9]

涂胶装置及光阻涂布设备 [P].

郭振 .

中国专利 :CN218446373U ,2023-02-03

[10]

高品质光阻涂布设备 [P].

李广宇 .

中国专利 :CN108654937A ,2018-10-16

← 1 2 3 4 5 →