光阻涂布设备及涂布设备用喷嘴

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201610742751.X

申请日：

2016-08-26

公开(公告)号：

CN106076744A

公开(公告)日：

2016-11-09

发明(设计)人：

但清华

申请人：

申请人地址：

430070 湖北省武汉市东湖开发区高新大道666号生物城C5栋

IPC主分类号：

B05C502

IPC分类号：

B05B1502

代理机构：

深圳市威世博知识产权代理事务所(普通合伙) 44280

代理人：

钟子敏

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2016-12-07	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101690441192 IPC(主分类):B05C 5/02 专利申请号:201610742751X 申请日:20160826
2018-11-23	授权	授权
2016-11-09	公开	公开

共 50 条

[1]

光阻涂布设备 [P].

朱浩东 .

中国专利 :CN108873609A ,2018-11-23

[2]

光阻涂布设备及涂布方法 [P].

龚成波 .

中国专利 :CN107490938A ,2017-12-19

[3]

光阻涂布设备及光阻涂布方法 [P].

王松 ;

林佳龙 .

中国专利 :CN104511388A ,2015-04-15

[4]

光阻涂布设备及其光阻涂布方法 [P].

蔡金龙 ;

郑宪鸿 .

中国专利 :CN103274605B ,2013-09-04

[5]

高品质光阻涂布设备 [P].

李广宇 .

中国专利 :CN108654937A ,2018-10-16

[6]

光阻涂布方法及其光阻涂布设备 [P].

苏育煌 ;

陈世仁 ;

周振南 .

中国专利 :CN1885164B ,2006-12-27

[7]

光阻管路及光阻涂布设备 [P].

凌意明 ;

周孟兴 ;

韩玉龙 ;

王琦 .

中国专利 :CN106252263A ,2016-12-21

[8]

涂布设备 [P].

王锦山 ;

张恒 .

中国专利 :CN216704917U ,2022-06-10

[9]

涂布设备与喷嘴 [P].

王艺华 .

中国专利 :CN101396684A ,2009-04-01

[10]

涂布设备组件及涂布设备 [P].

陈思 ;

冯雪冰 ;

易江平 .

中国专利 :CN222093826U ,2024-12-03

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