一种投影物镜光学系统及光刻机

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201711488619.1

申请日：

2017-12-29

公开(公告)号：

CN109991816A

公开(公告)日：

2019-07-09

发明(设计)人：

侯宝路

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张东路1525号

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

G02B1300 G02B1322

代理机构：

上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237

代理人：

屈蘅;李时云

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-08-02	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/20 申请日:20171229
2019-07-09	公开	公开
2020-06-16	授权	授权

共 50 条

[1]

一种投影物镜光学系统 [P].

郭银章 ;

孙晶露 .

中国专利 :CN103676096B ,2014-03-26

[2]

一种投影物镜光学系统 [P].

孙文凤 .

中国专利 :CN103364928A ,2013-10-23

[3]

一种投影物镜光学系统 [P].

李铁军 ;

黄玲 ;

魏俊 .

中国专利 :CN100388056C ,2006-10-25

[4]

物镜光学系统 [P].

高头英泰 .

中国专利 :CN102687053B ,2012-09-19

[5]

物镜光学系统 [P].

蒋千年 .

中国专利 :CN206331170U ,2017-07-14

[6]

物镜光学系统 [P].

蒋千年 .

中国专利 :CN106646824B ,2017-05-10

[7]

物镜光学系统 [P].

高头英泰 .

中国专利 :CN104937470A ,2015-09-23

[8]

物镜光学系统 [P].

高头英泰 .

中国专利 :CN106255912A ,2016-12-21

[9]

物镜光学系统 [P].

中村稔 ;

牛尾恭章 .

中国专利 :CN103502869A ,2014-01-08

[10]

物镜光学系统 [P].

折原达也 ;

鹈泽勉 .

中国专利 :CN102449525B ,2012-05-09

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