一种投影物镜光学系统

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201210319547.9

申请日：

2012-09-03

公开(公告)号：

CN103676096B

公开(公告)日：

2014-03-26

发明(设计)人：

郭银章孙晶露

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张江高科技园区张东路1525号

IPC主分类号：

G02B1318

IPC分类号：

G02B1322 G03F720

代理机构：

北京连和连知识产权代理有限公司 11278

代理人：

王光辉

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2016-03-09	授权	授权
2017-11-28	专利权人的姓名或者名称、地址的变更	专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):G02B 13/18 变更事项:专利权人变更前:上海微电子装备有限公司变更后:上海微电子装备（集团）股份有限公司变更事项:地址变更前:201203 上海市浦东新区张江高科技园区张东路1525号变更后:201203 上海市浦东新区张江高科技园区张东路1525号
2014-04-23	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101581671220 IPC(主分类):G02B 13/18 专利申请号:2012103195479 申请日:20120903
2014-03-26	公开	公开

共 50 条

[1]

一种投影物镜光学系统 [P].

李铁军 ;

黄玲 ;

魏俊 .

中国专利 :CN100388056C ,2006-10-25

[2]

一种投影物镜光学系统 [P].

孙文凤 .

中国专利 :CN103364928A ,2013-10-23

[3]

物镜光学系统 [P].

高头英泰 .

中国专利 :CN102687053B ,2012-09-19

[4]

物镜光学系统 [P].

蒋千年 .

中国专利 :CN206331170U ,2017-07-14

[5]

物镜光学系统 [P].

蒋千年 .

中国专利 :CN106646824B ,2017-05-10

[6]

物镜光学系统 [P].

高头英泰 .

中国专利 :CN104937470A ,2015-09-23

[7]

一种投影物镜光学系统及光刻机 [P].

侯宝路 .

中国专利 :CN109991816A ,2019-07-09

[8]

物镜光学系统 [P].

高头英泰 .

中国专利 :CN106255912A ,2016-12-21

[9]

物镜光学系统 [P].

中村稔 ;

牛尾恭章 .

中国专利 :CN103502869A ,2014-01-08

[10]

物镜光学系统 [P].

折原达也 ;

鹈泽勉 .

中国专利 :CN102449525B ,2012-05-09

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