用于半导体用石英环的台阶临时快速检测装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202020986487.6

申请日：

2020-06-03

公开(公告)号：

CN212030422U

公开(公告)日：

2020-11-27

发明(设计)人：

单佩

申请人：

申请人地址：

201801 上海市嘉定区马陆镇博学路509号1幢1-4层A区、地下1层A区

IPC主分类号：

G01B518

IPC分类号：

G01B726

代理机构：

上海梵恒知识产权代理事务所(普通合伙) 31357

代理人：

王裕

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-11-27	授权	授权

共 50 条

[1]

用于半导体用石英厚板凹槽临时快速检测装置及其方法 [P].

单佩 ;

马洋洋 .

中国专利 :CN113483637A ,2021-10-08

[2]

一种用于半导体用石英环的快速抛光装置 [P].

杨军 ;

张月清 .

中国专利 :CN220613504U ,2024-03-19

[3]

一种用于半导体用石英环的快速抛光装置 [P].

单佩 .

中国专利 :CN216098223U ,2022-03-22

[4]

一种半导体用石英环快速抛光装置 [P].

邓南翔 ;

华锦贤 ;

龚子坤 ;

郁佳琦 .

中国专利 :CN221088556U ,2024-06-07

[5]

用于半导体用石英环平面磨削加工的治具 [P].

舒宇珩 ;

顾曹鑫 .

中国专利 :CN213319224U ,2021-06-01

[6]

用于半导体石英环加工的快速抛光装置 [P].

陈惠民 ;

赵紫英 ;

武文颖 ;

武文奇 ;

郁成惠 .

中国专利 :CN222920273U ,2025-05-30

[7]

一种用于半导体用石英环车床加工的治具 [P].

马洋洋 .

中国专利 :CN213498527U ,2021-06-22

[8]

一种用于半导体用石英环的抛光液自动供给装置 [P].

单佩 ;

顾曹鑫 .

中国专利 :CN212527355U ,2021-02-12

[9]

半导体用高纯石英材料制备装置 [P].

沈恒文 ;

王玮康 ;

唐浩 ;

代悦明 ;

夏美芳 .

中国专利 :CN215676374U ,2022-01-28

[10]

半导体用超高纯石墨坩埚检测装置 [P].

杨振远 ;

白俊鹏 ;

戈珍军 ;

丁光明 ;

马长庆 .

中国专利 :CN223259579U ,2025-08-22

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