一种用于半导体用石英环的快速抛光装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202322083138.X

申请日：

2023-08-04

公开(公告)号：

CN220613504U

公开(公告)日：

2024-03-19

发明(设计)人：

杨军张月清

申请人：

江苏富乐德石英科技有限公司

申请人地址：

224200 江苏省盐城市东台市高新区鸿达路68号

IPC主分类号：

B24B29/02

IPC分类号：

B24B55/04 B24B55/06 B24B41/06 B24B41/02

代理机构：

南京鼎傲知识产权代理事务所(普通合伙) 32327

代理人：

刘蔼民

法律状态：

授权

国省代码：

江苏省盐城市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-03-19	授权	授权

共 50 条

[1]

一种用于半导体用石英环的快速抛光装置 [P].

单佩 .

中国专利 :CN216098223U ,2022-03-22

[2]

一种半导体用石英环快速抛光装置 [P].

邓南翔 ;

华锦贤 ;

龚子坤 ;

郁佳琦 .

中国专利 :CN221088556U ,2024-06-07

[3]

用于半导体石英环加工的快速抛光装置 [P].

陈惠民 ;

赵紫英 ;

武文颖 ;

武文奇 ;

郁成惠 .

中国专利 :CN222920273U ,2025-05-30

[4]

一种用于半导体用石英环的抛光液自动供给装置 [P].

单佩 ;

顾曹鑫 .

中国专利 :CN212527355U ,2021-02-12

[5]

一种半导体用石英轴抛光装置 [P].

王景荣 ;

童春芳 .

中国专利 :CN120680411A ,2025-09-23

[6]

用于半导体用石英环的台阶临时快速检测装置 [P].

单佩 .

中国专利 :CN212030422U ,2020-11-27

[7]

一种半导体用石英轴抛光装置 [P].

邓南翔 ;

华锦贤 ;

郁佳琦 .

中国专利 :CN118952021A ,2024-11-15

[8]

一种用于半导体用石英环的抛光液自动供给装置 [P].

单佩 ;

顾曹鑫 .

中国专利 :CN114211399A ,2022-03-22

[9]

一种用于半导体用石英环的抛光液自动供给装置 [P].

单佩 ;

顾曹鑫 .

中国专利 :CN114211399B ,2024-08-27

[10]

一种半导体用石英轴抛光装置 [P].

邓南翔 ;

华锦贤 ;

郁佳琦 .

中国专利 :CN118952021B ,2025-03-25

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