一种半导体用石英轴抛光装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202411459835.3

申请日：

2024-10-18

公开(公告)号：

CN118952021B

公开(公告)日：

2025-03-25

发明(设计)人：

邓南翔华锦贤郁佳琦

申请人：

无锡沃尼克半导体科技有限公司

申请人地址：

214000 江苏省无锡市新吴区硕放香楠路81号A栋厂房

IPC主分类号：

B24B29/04

IPC分类号：

B24B27/02 B24B41/06 B08B1/14 B24B47/12

代理机构：

江苏次方根知识产权代理有限公司 32855

代理人：

芮守平

法律状态：

授权

国省代码：

江苏省无锡市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-03-25	授权	授权
2024-11-15	公开	公开
2024-12-03	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):B24B 29/04申请日:20241018

共 50 条

[1]

一种半导体用石英轴抛光装置 [P].

邓南翔 ;

华锦贤 ;

郁佳琦 .

中国专利 :CN118952021A ,2024-11-15

[2]

一种半导体用石英轴抛光装置 [P].

王景荣 ;

童春芳 .

中国专利 :CN120680411A ,2025-09-23

[3]

一种半导体用石英轴抛光装置 [P].

汪日记 ;

安华伟 ;

王光余 .

中国专利 :CN117300868B ,2025-12-05

[4]

一种半导体用石英环快速抛光装置 [P].

邓南翔 ;

华锦贤 ;

龚子坤 ;

郁佳琦 .

中国专利 :CN221088556U ,2024-06-07

[5]

一种用于半导体用石英环的快速抛光装置 [P].

单佩 .

中国专利 :CN216098223U ,2022-03-22

[6]

一种半导体用石英制品抛光设备 [P].

乔春莲 ;

赵林花 .

中国专利 :CN221495568U ,2024-08-09

[7]

一种半导体用晶圆抛光设备 [P].

黄卫良 ;

徐梓辰 .

中国专利 :CN111002205A ,2020-04-14

[8]

一种用于半导体用石英环的快速抛光装置 [P].

杨军 ;

张月清 .

中国专利 :CN220613504U ,2024-03-19

[9]

一种半导体制程石英法兰抛光装置 [P].

孔凡昌 .

中国专利 :CN220330923U ,2024-01-12

[10]

一种半导体硅片抛光机 [P].

不公告发明人 .

中国专利 :CN111941267A ,2020-11-17

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