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一种等离子体除胶设备专用测试治具
被引:0
专利类型
:
实用新型
申请号
:
CN202022211928.8
申请日
:
2020-10-04
公开(公告)号
:
CN212871283U
公开(公告)日
:
2021-04-02
发明(设计)人
:
欧梓明
邓小林
许小平
申请人
:
申请人地址
:
510000 广东省广州市萝岗区九佛西路888号
IPC主分类号
:
G01D2100
IPC分类号
:
G01D1116
代理机构
:
代理人
:
法律状态
:
授权
国省代码
:
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法律状态
法律状态公告日
法律状态
法律状态信息
2021-04-02
授权
授权
共 50 条
[1]
等离子体蚀刻治具和等离子体蚀刻设备
[P].
赵成伟
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赵成伟
;
邬文波
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邬文波
.
中国专利
:CN115432935A
,2022-12-06
[2]
等离子体蚀刻治具和等离子体蚀刻设备
[P].
赵成伟
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机构:
西实显示高新材料(沈阳)有限公司
西实显示高新材料(沈阳)有限公司
赵成伟
;
邬文波
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机构:
西实显示高新材料(沈阳)有限公司
西实显示高新材料(沈阳)有限公司
邬文波
.
中国专利
:CN115432935B
,2024-04-16
[3]
一种等离子除胶辅助治具
[P].
徐友福
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徐友福
;
位珍光
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位珍光
;
邹金龙
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邹金龙
;
邵欧
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邵欧
;
姚育松
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姚育松
;
刘生根
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刘生根
.
中国专利
:CN213880446U
,2021-08-03
[4]
一种等离子体处理设备的治具回流系统
[P].
陈培峰
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陈培峰
;
宗泽源
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宗泽源
;
刘庆峰
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刘庆峰
;
程凡雄
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程凡雄
;
汤家云
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汤家云
.
中国专利
:CN211003280U
,2020-07-14
[5]
等离子体消防除烟设备
[P].
陈朝阳
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陈朝阳
;
吴科平
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吴科平
;
白华君
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白华君
;
张雷
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张雷
;
周云正
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周云正
;
陈舸
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陈舸
.
中国专利
:CN216281967U
,2022-04-12
[6]
一种射频微波等离子体除胶装置
[P].
王晓东
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机构:
天津双微电子科技有限公司
天津双微电子科技有限公司
王晓东
;
马飞鹏
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天津双微电子科技有限公司
天津双微电子科技有限公司
马飞鹏
.
中国专利
:CN220760371U
,2024-04-12
[7]
一种等离子体设备测试方法
[P].
李志强
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珠海恒格微电子装备有限公司
珠海恒格微电子装备有限公司
李志强
;
赵义党
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珠海恒格微电子装备有限公司
珠海恒格微电子装备有限公司
赵义党
;
李志华
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机构:
珠海恒格微电子装备有限公司
珠海恒格微电子装备有限公司
李志华
.
中国专利
:CN120089585B
,2025-08-29
[8]
一种等离子体设备测试方法
[P].
李志强
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机构:
珠海恒格微电子装备有限公司
珠海恒格微电子装备有限公司
李志强
;
赵义党
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机构:
珠海恒格微电子装备有限公司
珠海恒格微电子装备有限公司
赵义党
;
李志华
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机构:
珠海恒格微电子装备有限公司
珠海恒格微电子装备有限公司
李志华
.
中国专利
:CN120089585A
,2025-06-03
[9]
一种跑道用微波等离子体除胶装置
[P].
王邱林
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成都奋羽电子科技有限公司
成都奋羽电子科技有限公司
王邱林
;
吉皓
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成都奋羽电子科技有限公司
成都奋羽电子科技有限公司
吉皓
;
毛荣涛
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成都奋羽电子科技有限公司
成都奋羽电子科技有限公司
毛荣涛
;
刘鑫
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机构:
成都奋羽电子科技有限公司
成都奋羽电子科技有限公司
刘鑫
.
中国专利
:CN221934875U
,2024-11-01
[10]
等离子体气相沉积用工件固定治具及等离子体气相沉积设备
[P].
柏洋
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柏洋
;
吴其涛
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吴其涛
.
中国专利
:CN209555369U
,2019-10-29
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