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一种等离子体处理设备的治具回流系统
被引:0
专利类型
:
实用新型
申请号
:
CN201921943648.7
申请日
:
2019-11-12
公开(公告)号
:
CN211003280U
公开(公告)日
:
2020-07-14
发明(设计)人
:
陈培峰
宗泽源
刘庆峰
程凡雄
汤家云
申请人
:
申请人地址
:
211400 江苏省扬州市江都区大桥镇白沙中路1号科技大厦
IPC主分类号
:
B65G3702
IPC分类号
:
代理机构
:
代理人
:
法律状态
:
授权
国省代码
:
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法律状态
法律状态公告日
法律状态
法律状态信息
2020-07-14
授权
授权
共 50 条
[1]
一种等离子体处理设备的水车式治具回流系统
[P].
陈培峰
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陈培峰
;
宗泽源
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宗泽源
;
刘庆峰
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刘庆峰
;
程凡雄
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程凡雄
;
汤家云
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汤家云
.
中国专利
:CN211019461U
,2020-07-14
[2]
等离子体处理设备及其包含等离子体处理设备的等离子体处理系统
[P].
范德宏
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范德宏
;
左涛涛
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左涛涛
.
中国专利
:CN112117176A
,2020-12-22
[3]
等离子体处理设备
[P].
马哲国
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马哲国
;
陈金元
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陈金元
;
欧阳亮
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欧阳亮
;
董家伟
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董家伟
.
中国专利
:CN216145583U
,2022-03-29
[4]
等离子体处理设备
[P].
朴希侦
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朴希侦
.
中国专利
:CN202633209U
,2012-12-26
[5]
等离子体处理设备
[P].
欧阳亮
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欧阳亮
.
中国专利
:CN216145635U
,2022-03-29
[6]
等离子体处理设备
[P].
王许
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机构:
中微半导体设备(上海)股份有限公司
中微半导体设备(上海)股份有限公司
王许
;
朱永成
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机构:
中微半导体设备(上海)股份有限公司
中微半导体设备(上海)股份有限公司
朱永成
;
李琳
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机构:
中微半导体设备(上海)股份有限公司
中微半导体设备(上海)股份有限公司
李琳
;
王智昊
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机构:
中微半导体设备(上海)股份有限公司
中微半导体设备(上海)股份有限公司
王智昊
.
中国专利
:CN223665407U
,2025-12-12
[7]
一种等离子体处理设备
[P].
金熙中
论文数:
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金熙中
.
中国专利
:CN213519855U
,2021-06-22
[8]
一种等离子体处理设备
[P].
李开元
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机构:
中微半导体设备(上海)股份有限公司
中微半导体设备(上海)股份有限公司
李开元
;
周艳
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机构:
中微半导体设备(上海)股份有限公司
中微半导体设备(上海)股份有限公司
周艳
.
中国专利
:CN222320176U
,2025-01-07
[9]
废气等离子体处理设备和包括其的废气等离子体处理系统
[P].
高承锺
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高承锺
.
中国专利
:CN110404382A
,2019-11-05
[10]
一种等离子体处理设备和等离子体处理方法
[P].
林英浩
论文数:
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机构:
江苏微导纳米科技股份有限公司
江苏微导纳米科技股份有限公司
林英浩
.
中国专利
:CN117894661A
,2024-04-16
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