等离子体处理设备

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202121791206.2

申请日：

2021-08-03

公开(公告)号：

CN216145635U

公开(公告)日：

2022-03-29

发明(设计)人：

欧阳亮

申请人：

申请人地址：

225400 江苏省泰州市泰兴高新技术产业开发区环溪路北侧

IPC主分类号：

H01L3118

IPC分类号：

H01L310747

代理机构：

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法律状态：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-03-29	授权	授权

共 50 条

[1]

等离子体处理设备 [P].

马哲国 ;

陈金元 ;

欧阳亮 ;

董家伟 .

中国专利 :CN216145583U ,2022-03-29

[2]

等离子体处理设备以及等离子体处理方法 [P].

黄振华 .

中国专利 :CN113035677B ,2021-06-25

[3]

等离子体处理设备 [P].

朴希侦 .

中国专利 :CN202633209U ,2012-12-26

[4]

等离子体处理设备 [P].

王许 ;

朱永成 ;

李琳 ;

王智昊 .

中国专利 :CN223665407U ,2025-12-12

[5]

等离子体屏蔽组件和等离子体处理设备 [P].

林垠赞 ;

柳海永 ;

李殷守 ;

朴瑄昱 ;

张容文 ;

朴炫九 ;

李在龙 .

韩国专利 :CN222705440U ,2025-04-01

[6]

等离子体处理设备和等离子体处理方法 [P].

菅井秀郎 ;

井出哲也 ;

佐佐木厚 ;

东和文 ;

中田行彦 .

中国专利 :CN1670912A ,2005-09-21

[7]

等离子体处理设备和等离子体处理方法 [P].

李勇锡 ;

郑石源 ;

许明洙 ;

安美罗 .

中国专利 :CN104576282A ,2015-04-29

[8]

等离子体处理设备和等离子体处理方法 [P].

宇井明生 ;

林久贵 ;

富冈和广 ;

山本洋 ;

今村翼 .

中国专利 :CN103681196A ,2014-03-26

[9]

等离子体处理设备和等离子体处理方法 [P].

山崎圭一 ;

猪冈结希子 ;

泽田康志 ;

田口典幸 ;

中园佳幸 ;

仲野章生 .

中国专利 :CN1165208C ,2002-02-06

[10]

等离子体处理设备和等离子体处理方法 [P].

岩井哲博 ;

有田洁 .

中国专利 :CN1669109A ,2005-09-14

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