等离子体处理设备和等离子体处理方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN03817044.2

申请日：

2003-07-14

公开(公告)号：

CN1669109A

公开(公告)日：

2005-09-14

发明(设计)人：

岩井哲博有田洁

申请人：

申请人地址：

日本大阪府

IPC主分类号：

H01J3732

IPC分类号：

代理机构：

北京市柳沈律师事务所

代理人：

陶凤波;侯宇

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2008-10-29	授权	授权
2005-11-16	实质审查的生效	实质审查的生效
2005-09-14	公开	公开
2020-07-10	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01J 37/32 申请日:20030714 授权公告日:20081029 终止日期:20190714

共 50 条

[1]

等离子体处理设备和等离子体处理方法 [P].

菅井秀郎 ;

井出哲也 ;

佐佐木厚 ;

东和文 ;

中田行彦 .

中国专利 :CN1670912A ,2005-09-21

[2]

等离子体处理设备和等离子体处理方法 [P].

李勇锡 ;

郑石源 ;

许明洙 ;

安美罗 .

中国专利 :CN104576282A ,2015-04-29

[3]

等离子体处理设备和等离子体处理方法 [P].

宇井明生 ;

林久贵 ;

富冈和广 ;

山本洋 ;

今村翼 .

中国专利 :CN103681196A ,2014-03-26

[4]

等离子体处理设备和等离子体处理方法 [P].

山崎圭一 ;

猪冈结希子 ;

泽田康志 ;

田口典幸 ;

中园佳幸 ;

仲野章生 .

中国专利 :CN1165208C ,2002-02-06

[5]

等离子体处理方法和等离子体处理设备 [P].

奥村智洋 ;

佐佐木雄一朗 ;

冈下胜己 ;

金成国 ;

前嶋聪 ;

伊藤裕之 ;

中山一郎 ;

水野文二 .

中国专利 :CN101053066A ,2007-10-10

[6]

衬底等离子体处理设备和等离子体处理方法 [P].

宇井明生 ;

玉置直树 ;

市川尚志 ;

林久贵 ;

上夏井健 ;

桧森慎司 ;

山田纪和 ;

大濑刚 ;

阿部淳 .

中国专利 :CN101499399B ,2009-08-05

[7]

等离子体处理设备以及等离子体处理方法 [P].

黄振华 .

中国专利 :CN113035677B ,2021-06-25

[8]

等离子体处理设备和等离子体产生方法 [P].

石井信雄 ;

八坂保能 ;

高桥应明 ;

安藤真 .

中国专利 :CN100440448C ,2005-08-10

[9]

等离子体屏蔽组件和等离子体处理设备 [P].

林垠赞 ;

柳海永 ;

李殷守 ;

朴瑄昱 ;

张容文 ;

朴炫九 ;

李在龙 .

韩国专利 :CN222705440U ,2025-04-01

[10]

等离子体产生装置和等离子体处理设备 [P].

杨靖 ;

刘涛 ;

乐卫平 ;

宋成 ;

张文杰 ;

谢幸光 .

中国专利 :CN118400855A ,2024-07-26

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