一种太阳能电池片干法刻蚀工艺

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201110270013.7

申请日：

2011-09-14

公开(公告)号：

CN102290494A

公开(公告)日：

2011-12-21

发明(设计)人：

张宗阳李增彪何成辉陈云爽

申请人：

申请人地址：

214400 江苏省无锡市江阴市新桥镇工业园区

IPC主分类号：

H01L3118

IPC分类号：

代理机构：

江阴市永兴专利事务所(普通合伙) 32240

代理人：

达晓玲;詹世平

法律状态：

专利权的终止

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-09-04	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 31/18 申请日:20110914 授权公告日:20130918 终止日期:20170914
2012-04-25	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101229716342 IPC(主分类):H01L 31/18 专利申请号:2011102700137 申请日:20110914
2011-12-21	公开	公开
2013-09-18	授权	授权

共 50 条

[1]

一种单晶硅太阳能电池片的干法刻蚀工艺 [P].

任春兰 ;

田治龙 ;

曲岩 ;

葛瑞丽 ;

何晓玢 .

中国专利 :CN103746029A ,2014-04-23

[2]

一种晶硅太阳能电池干法刻蚀夹具 [P].

孙良欣 ;

全成 ;

胡盛华 ;

俞建 ;

范圣凯 .

中国专利 :CN102394254B ,2012-03-28

[3]

一种晶硅太阳能电池干法刻蚀夹具 [P].

孙良欣 ;

全成 ;

胡盛华 ;

俞建 ;

范圣凯 .

中国专利 :CN202307999U ,2012-07-04

[4]

一种晶体硅太阳能电池干法刻蚀制绒工艺 [P].

焦云峰 ;

杨青天 ;

程谦礼 .

中国专利 :CN101800264A ,2010-08-11

[5]

太阳能电池片的刻蚀夹具 [P].

李新富 .

中国专利 :CN202339908U ,2012-07-18

[6]

太阳能电池片镀膜工艺 [P].

焦保贞 .

中国专利 :CN102222718A ,2011-10-19

[7]

一种太阳能电池片清洗装置、刻蚀机及刻蚀工艺 [P].

朱军 ;

何秋霞 ;

马擎天 .

中国专利 :CN115692543A ,2023-02-03

[8]

一种应用于太阳能电池的扩散退火和干法刻蚀方法 [P].

董方 ;

李虎明 ;

张向斌 ;

宋飞飞 ;

卢巧莉 ;

薛建锋 ;

邓刚 .

中国专利 :CN107093648A ,2017-08-25

[9]

一种太阳能电池片栅线、太阳能电池片及太阳能电池 [P].

周晓炜 .

中国专利 :CN222532129U ,2025-02-25

[10]

一种太阳能电池片推片方法 [P].

冯宇俊 ;

王鑫 ;

焦朋府 ;

李艳芝 .

中国专利 :CN111668145A ,2020-09-15

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